| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 目录 | 第9-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-31页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第13-14页 |
| 1.2 短脉冲激光微加工技术及应用现状 | 第14-18页 |
| 1.2.1 激光加工的优势 | 第14-15页 |
| 1.2.2 激光直写(direct laser writing, DLW) | 第15-17页 |
| 1.2.3 激光LIGA | 第17-18页 |
| 1.3 短脉冲激光烧蚀物质原理的研究现状 | 第18-23页 |
| 1.3.1 短脉冲激光与金属相互作用理论 | 第18-20页 |
| 1.3.2 短脉冲激光与半导体、绝缘材料相互作用理论 | 第20-22页 |
| 1.3.3 激光与物质作用的其他模型 | 第22-23页 |
| 1.4 位敏阳极光子计数成像探测器 | 第23-28页 |
| 1.4.1 极紫外光子计数探测器发展现状 | 第24-26页 |
| 1.4.2 位敏阳极在探测器中的应用发展概况 | 第26页 |
| 1.4.3 位敏阳极设计 | 第26-28页 |
| 1.5 课题来源、研究目的及研究内容 | 第28-31页 |
| 第2章 双温有限元模型的建立与求解方法 | 第31-49页 |
| 2.1 概述 | 第31-32页 |
| 2.2 有限元模型的建立与求解 | 第32-38页 |
| 2.2.1 双温模型有限元方程的建立 | 第32-37页 |
| 2.2.2 双温模型有限元方程的求解 | 第37-38页 |
| 2.3 飞秒激光烧蚀铝膜的有限元模型 | 第38-44页 |
| 2.3.1 飞秒激光烧蚀铝膜的一维有限元模型的建立 | 第38-40页 |
| 2.3.2 飞秒激光烧蚀铝膜的一维有限元模型的求解 | 第40-41页 |
| 2.3.3 飞秒激光烧蚀铝膜的二维有限元模型的建立与求解 | 第41-44页 |
| 2.4 短脉冲激光去除材料的原理 | 第44-48页 |
| 2.4.1 短脉冲激光引起的相变 | 第44-46页 |
| 2.4.2 飞秒激光烧蚀铝的相变区域分析 | 第46-48页 |
| 2.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 第3章 皮秒激光辐照铝膜的理论分析 | 第49-75页 |
| 3.1 概述 | 第49-50页 |
| 3.2 双温热传导模型中各参数的选取 | 第50-53页 |
| 3.2.1 热物理参量的选取 | 第50-51页 |
| 3.2.2 材料对激光能量的吸收 | 第51-53页 |
| 3.3 激光辐照铝膜表面应力分析 | 第53-63页 |
| 3.3.1 双温-弹性力学基础 | 第53-55页 |
| 3.3.2 有限元模型的建立与求解 | 第55-63页 |
| 3.4 皮秒激光烧蚀铝膜的理论分析与实验验证 | 第63-73页 |
| 3.4.1 对模型的优化-相变的处理 | 第64-67页 |
| 3.4.2 一维半经典双温模型的求解方法 | 第67-68页 |
| 3.4.3 模拟过程中各参数的变化 | 第68-69页 |
| 3.4.4 激光作用热电场及电子漂移速率 | 第69-71页 |
| 3.4.5 激光加工区域分析 | 第71页 |
| 3.4.6 单脉冲激光加工效率实验 | 第71-73页 |
| 3.5 本章小结 | 第73-75页 |
| 第4章 高频率皮秒激光烧蚀石英衬底铝膜效率 | 第75-91页 |
| 4.1 概述 | 第75-76页 |
| 4.2 单脉冲皮秒激光烧蚀融石英模型 | 第76-80页 |
| 4.2.1 理论模型的建立 | 第76-78页 |
| 4.2.2 理论模型的求解 | 第78-80页 |
| 4.3 皮秒激光加工设备 | 第80-82页 |
| 4.3.1 光学系统与移动平台 | 第80-81页 |
| 4.3.2 激光器输出参数 | 第81-82页 |
| 4.4 皮秒激光烧蚀铝膜效率 | 第82-89页 |
| 4.4.1 单脉冲激光烧蚀效率 | 第82-83页 |
| 4.4.2 扫描激光烧蚀效率 | 第83-86页 |
| 4.4.3 高斯线性修正法 | 第86-88页 |
| 4.4.4 激光烧蚀铝膜微槽的模拟计算 | 第88-89页 |
| 4.5 本章小结 | 第89-91页 |
| 第5章WSA制备与探测器成像技术研究 | 第91-117页 |
| 5.1 极紫外光子计数成像探测器概述 | 第91-93页 |
| 5.2 楔条形阳极的皮秒激光加工技术 | 第93-102页 |
| 5.2.1 楔条形阳极的工作原理 | 第93-94页 |
| 5.2.2 楔条形阳极的优化设计原则 | 第94-96页 |
| 5.2.3 楔条形阳极的皮秒激光加工技术 | 第96-102页 |
| 5.3 探测器的成像分辨率检测 | 第102-105页 |
| 5.3.1 开口式位敏阳极探测器 | 第102页 |
| 5.3.2 探测器成像性能检测 | 第102-105页 |
| 5.4 感应电荷读出方式相关问题的讨论 | 第105-115页 |
| 5.4.1 光子计数探测器成像性能的影响因素 | 第105-106页 |
| 5.4.2 感应电荷量的求解 | 第106-110页 |
| 5.4.3 WSA解码公式的验证 | 第110-111页 |
| 5.4.4 WSA边缘非线性效应的模拟 | 第111-113页 |
| 5.4.5 WSA探测器模拟成像 | 第113-115页 |
| 5.5 本章小结 | 第115-117页 |
| 第6章 总结与展望 | 第117-121页 |
| 6.1 主要研究内容 | 第117-118页 |
| 6.2 论文的主要创新点 | 第118-119页 |
| 6.3 工作展望 | 第119-121页 |
| 参考文献 | 第121-133页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第133-135页 |
| 指导教师及作者简介 | 第135-137页 |
| 致谢 | 第137页 |
