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宽温度范围对变形镜工作性能的影响研究

致谢第3-4页
摘要第4-6页
ABSTRACT第6-7页
第一章 绪论第17-31页
    1.1 自适应光学简介第17-25页
        1.1.1 自适应光学的起源第17-19页
        1.1.2 自适应光学系统的发展第19-23页
        1.1.3 自适应光学的工作原理与组成第23-25页
    1.2 低温自适应光学系统概述第25-27页
    1.3 本文研究背景及内容第27-31页
第二章 低温变形镜的研究现状第31-49页
    2.1 变形镜简介第31-33页
    2.2 薄膜变形镜第33-36页
        2.2.1 薄膜变形镜工作原理第33页
        2.2.2 薄膜变形镜的低温性能测试第33-36页
        2.2.3 低温薄膜变形镜评价第36页
    2.3 双压电片变形镜第36-40页
        2.3.1 双压电片变形镜工作原理第36-37页
        2.3.2 unimorph变形镜低温性能测试第37-39页
        2.3.3 低温双压电片变形镜评价第39-40页
    2.4 MEMS变形镜第40-43页
        2.4.1 MEMS变形镜工作原理第40页
        2.4.2 MEMS变形镜低温性能测试第40-43页
        2.4.3 低温MEMS变形镜评价第43页
    2.5 分立式连续表面变形镜第43-48页
        2.5.1 分立式连续表面变形镜工作原理第43-44页
        2.5.2 分立式连续表面变形镜低温性能测试第44-48页
        2.5.3 分立式连续表面变形镜评价第48页
    2.6 本章小结第48-49页
第三章 变形镜的低温变形分析第49-69页
    3.1 低温变形起因理论分析第49-53页
        3.1.1 弹性力学基本假设第49-50页
        3.1.2 中厚板理论——Reissner理论第50-52页
        3.1.3 变形镜的低温变形分析第52-53页
    3.2 变形镜低温镜面变形仿真第53-62页
        3.2.1 有限元法第53-55页
        3.2.2 61单元变形镜第55-56页
        3.2.3 仿真模型第56-58页
        3.2.4 仿真分析第58-62页
    3.3 驱动器排布对低温变形的影响第62-64页
        3.3.1 驱动器数量和间距的影响第62-63页
        3.3.2 驱动器排布方式的影响第63-64页
    3.4 镜面材料对低温变形的影响第64-67页
    3.5 本章小结第67-69页
第四章 低温变形镜的结构改进方案第69-77页
    4.1 改进结构及其工作原理第69-71页
        4.1.1 圣维南原理第69页
        4.1.2 改进结构第69-70页
        4.1.3 工作原理第70-71页
    4.2 改进结构变形镜的参数优化第71-72页
    4.3 改进结构低温变形仿真第72-76页
        4.3.1 改进结构低温变形分析第72-74页
        4.3.2 驱动器排布的影响第74-75页
        4.3.3 镜面材料的影响第75-76页
    4.4 本章小结第76-77页
第五章 压电陶瓷驱动器低温性能测试第77-83页
    5.1 压电陶瓷驱动器工作原理第77-80页
        5.1.1 压电效应与逆压电效应第77-79页
        5.1.2 层叠式压电陶瓷驱动器第79-80页
    5.2 测试方案设计与装置建立第80-81页
    5.3 测试结果分析第81-82页
    5.4 本章小结第82-83页
第六章 低温变形镜样镜测试第83-101页
    6.1 低温测试平台第83-92页
        6.1.1 变形镜低温测试要求第84页
        6.1.2 低温箱简介第84页
        6.1.3 动态干涉仪原理第84-87页
        6.1.4 标准镜的安装方案第87-92页
    6.2 低温面形测试结果及分析第92-98页
        6.2.1 传统变形镜的低温面形测试第93-95页
        6.2.2 改进变形镜的低温面形测试第95-98页
    6.3 仿真结果与实验结果对比第98-100页
    6.4 本章小结第100-101页
第七章 913单元变形镜的性能测试第101-113页
    7.1 913 单元变形镜介绍第101-102页
    7.2 913 单元变形镜的低温变形仿真第102-105页
        7.2.1 913 单元变形镜有限元模型第102-103页
        7.2.2 低温变形的仿真结果与分析第103-105页
    7.3 低温镜面变形测试第105-110页
        7.3.1 测试过程简介第105-106页
        7.3.2 实验结果第106-110页
    7.4 本章小结第110-113页
第八章 总结与展望第113-117页
    8.1 本文的主要研究内容和结论第113-114页
    8.2 本文的主要创新点第114-115页
    8.3 未来工作展望第115-117页
参考文献第117-126页
作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果第126页

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