| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题背景 | 第9-10页 |
| 1.2 薄膜电极 | 第10页 |
| 1.3 导电材料 | 第10-14页 |
| 1.3.1 金属氧化物 | 第10-13页 |
| 1.3.2 导电聚合物 | 第13页 |
| 1.3.3 碳纳米材料 | 第13-14页 |
| 1.4 薄膜电极制备方法 | 第14-17页 |
| 1.4.1 磁控溅射法 | 第14页 |
| 1.4.2 溶胶凝胶法 | 第14-15页 |
| 1.4.3 真空蒸发沉积 | 第15页 |
| 1.4.4 化学气相沉积法 | 第15页 |
| 1.4.5 脉冲激光沉积法 | 第15-16页 |
| 1.4.6 超声喷雾热解法 | 第16-17页 |
| 1.5 本文的选题依据和主要研究内容 | 第17-18页 |
| 1.5.1 论文选题依据 | 第17页 |
| 1.5.2 论文的主要研究内容 | 第17-18页 |
| 1.6 论文章节安排 | 第18-19页 |
| 第二章 超声喷雾热解的研究进展及实验设备的设计 | 第19-29页 |
| 2.1 喷雾热解法制膜的基本原理 | 第19-20页 |
| 2.2 喷雾热解法制膜的特点和应用范围 | 第20-21页 |
| 2.2.1 喷雾热解法制膜的特点 | 第20页 |
| 2.2.2 超声喷雾热解法制膜的应用范围 | 第20-21页 |
| 2.3 目前国内外喷雾热解制膜系统的结构 | 第21-25页 |
| 2.4 超声喷雾热解制膜设备的设计 | 第25-29页 |
| 2.4.1 设备基本结构 | 第25-26页 |
| 2.4.2 设备改造优化 | 第26-29页 |
| 第三章 超声喷雾热解制备银导电薄膜 | 第29-43页 |
| 3.1 实验准备 | 第29-31页 |
| 3.1.1 实验药品及相关仪器 | 第29-30页 |
| 3.1.2 前驱体溶液的配置及衬底清洗 | 第30-31页 |
| 3.1.3 喷雾沉积 | 第31页 |
| 3.2 结果与分析 | 第31-41页 |
| 3.2.1 载气流量 | 第31页 |
| 3.2.2 喷嘴到衬底的距离 | 第31-32页 |
| 3.2.3 喷涂时间 | 第32页 |
| 3.2.4 衬底温度对Ag薄膜的影响 | 第32-34页 |
| 3.2.5 前驱体溶液浓度对Ag薄膜的影响 | 第34-37页 |
| 3.2.6 不同电场强度对Ag薄膜的影响 | 第37-41页 |
| 3.2.7 不同退火温度对Ag薄膜的影响 | 第41页 |
| 3.3 本章小结 | 第41-43页 |
| 第四章 超声喷雾热解制备银掺杂氧化锌薄膜 | 第43-51页 |
| 4.1 实验药品及相关仪器 | 第43-44页 |
| 4.2 实验方法 | 第44-45页 |
| 4.3 Ag对Ag掺ZnO薄膜的影响 | 第45-49页 |
| 4.3.1 不同比例下Ag掺杂ZnO薄膜的结构特 | 第45-46页 |
| 4.3.2 不同沉积温度Ag掺杂ZnO薄膜的表面形貌 | 第46-47页 |
| 4.3.3 电场强度对Ag掺杂ZnO薄膜表面形貌的影响 | 第47-48页 |
| 4.3.4 Ag掺杂ZnO薄膜的光学特性 | 第48-49页 |
| 4.3.5 Ag掺杂ZnO薄膜的电学特性 | 第49页 |
| 4.4 本章小结 | 第49-51页 |
| 第五章 总结与展望 | 第51-53页 |
| 5.1 总结 | 第51页 |
| 5.2 展望 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-59页 |
| 发表论文和参加科研情况 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61页 |