薄膜激光层裂微成形的技术研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·先进激光加工技术概述 | 第10-15页 |
| ·激光微细加工技术 | 第10-11页 |
| ·激光热应力(弯曲)成形 | 第11-12页 |
| ·激光冲击成形技术 | 第12-15页 |
| ·薄膜激光层裂微成形技术 | 第15-17页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第17-18页 |
| 第二章 薄膜激光层裂微成形的理论研究 | 第18-36页 |
| ·激光等离子体冲击波的形成机理 | 第18-22页 |
| ·激光与物质间的相互作用 | 第18-19页 |
| ·等离子冲击波的形成 | 第19-20页 |
| ·冲击波在材料中的传播和衰减 | 第20-21页 |
| ·冲击波的压力计算及分析 | 第21-22页 |
| ·一维应力波传播理论 | 第22-25页 |
| ·冲击波的相互作用 | 第22-24页 |
| ·应力波在自由面和刚壁上的反射和透射 | 第24-25页 |
| ·激光诱导薄膜界面层裂理论 | 第25-30页 |
| ·层裂研究的国内外发展趋势 | 第25-26页 |
| ·单层介质层裂 | 第26-28页 |
| ·薄膜界面层裂 | 第28-29页 |
| ·应力波脉冲宽度与薄膜厚度匹配关系 | 第29-30页 |
| ·激光驱动飞片技术的理论研究 | 第30-35页 |
| ·激光驱动飞片技术的研究背景及现状 | 第30-32页 |
| ·激光驱动飞片的力学原理 | 第32页 |
| ·激光驱动飞片速度的计算 | 第32-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 薄膜激光层裂微成形的实验研究 | 第36-49页 |
| ·试验装置与材料 | 第36-40页 |
| ·激光器参数介绍 | 第36-37页 |
| ·试验模具和夹具 | 第37-38页 |
| ·成形测试装置 | 第38-39页 |
| ·试验材料及准备 | 第39-40页 |
| ·薄膜激光层裂微成形试验 | 第40-47页 |
| ·试样成形样品分析 | 第40-42页 |
| ·激光能量对飞片速度的影响 | 第42-44页 |
| ·薄膜厚度对成形的影响 | 第44-45页 |
| ·应力波脉冲对层裂的影响 | 第45-46页 |
| ·薄膜与基体声阻抗匹配关系对层裂的影响 | 第46-47页 |
| ·薄膜激光层裂微成形失效情况分析 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 薄膜激光层裂微成形的数值模拟 | 第49-63页 |
| ·数值计算模型 | 第49-56页 |
| ·分析软件介绍 | 第49-50页 |
| ·求解算法 | 第50-53页 |
| ·冲击压力加载 | 第53-54页 |
| ·加载时间 | 第54-55页 |
| ·边界条件 | 第55页 |
| ·初始条件 | 第55-56页 |
| ·数值模拟 | 第56-62页 |
| ·模拟模型建立 | 第56-57页 |
| ·应力波在薄膜中的传播及薄膜成形过程图 | 第57-60页 |
| ·边中心点位移时变特征 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第五章 总结与展望 | 第63-65页 |
| ·研究工作总结 | 第63-64页 |
| ·展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 攻读硕士学位论文期间发表的论文 | 第70页 |
