液桥对原子力显微镜成像的影响
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-28页 |
| ·课题来源 | 第12页 |
| ·引言 | 第12-13页 |
| ·原子力显微镜结构和基本原理 | 第13-16页 |
| ·液桥的基本概念 | 第16页 |
| ·几种重要的针—样作用力 | 第16-20页 |
| ·静电力 | 第17页 |
| ·范德华力 | 第17-18页 |
| ·毛细力 | 第18-20页 |
| ·影响原子力显微镜成像质量的因素 | 第20-22页 |
| ·前人的研究成果 | 第22-26页 |
| ·论文主要研究内容 | 第26-28页 |
| 第二章 不同空气湿度下液桥的分析与计算 | 第28-46页 |
| ·模型的建立与分析 | 第28-34页 |
| ·液桥模型 | 第28-29页 |
| ·近似假设和恒定条件 | 第29-32页 |
| ·基于表面能和热力学理论下的推导 | 第32-34页 |
| ·不同湿度下各参数的分析 | 第34-36页 |
| ·计算结果分析 | 第36-46页 |
| 第三章 AFM中微悬臂耗散能测量 | 第46-72页 |
| ·实验装置和实验方法 | 第46-51页 |
| ·接触式探针的实验 | 第51-53页 |
| ·特定湿度下接触式探针对硅片表面的测量 | 第51页 |
| ·测量结果分析 | 第51-53页 |
| ·轻敲式探针的实验 | 第53-59页 |
| ·改变湿度的方法和装置 | 第53-55页 |
| ·不同湿度下力—位移曲线的测量 | 第55-59页 |
| ·实验数据处理和分析 | 第59-72页 |
| ·实验数据处理方法 | 第59-62页 |
| ·数据处理结果 | 第62-72页 |
| 第四章 液桥产生的耗散能对AFM成像的影响 | 第72-80页 |
| ·AFM微悬臂结构的振动分析 | 第72-75页 |
| ·等效能量法 | 第75-76页 |
| ·耗散能与微悬臂的振幅和相位的关系 | 第76-80页 |
| 第五章 结论与展望 | 第80-82页 |
| ·结论 | 第80页 |
| ·展望 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-86页 |
| 附录 | 第86-106页 |
| 附录Ⅰ 液桥几何模型 | 第86-87页 |
| 附录Ⅱ 两种计算方法在程序中的实现 | 第87-92页 |
| 附录Ⅲ 微悬臂梁刚度的有限元分析 | 第92-102页 |
| 附录Ⅳ 能量耗散对高度、相位的影响 | 第102-106页 |
| 致谢 | 第106-108页 |
| 研究成果及发表的学术论文 | 第108-110页 |
| 作者与导师简介 | 第110-111页 |
| 附件 | 第111-112页 |
