| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| ·研究背景 | 第9-10页 |
| ·相图的测定 | 第10-12页 |
| ·相图的实验测定 | 第11-12页 |
| ·相图的计算 | 第12页 |
| ·扩散动力学及其研究方法 | 第12-16页 |
| ·Fick 定律的概述 | 第13-14页 |
| ·扩散技术 | 第14-15页 |
| ·原子移动性参数及 DICTRA 计算 | 第15-16页 |
| ·研究内容和意义 | 第16-18页 |
| 第2章 Ni-P 合金的机械合金化 | 第18-24页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·机械合金化的机理 | 第18-19页 |
| ·实验方法 | 第19-20页 |
| ·实验结果及分析 | 第20-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 Ni-Si- P 三元系 800℃等温截面 | 第24-46页 |
| ·引言 | 第24-25页 |
| ·Ni-Si- P 三元系的研究现状 | 第25-28页 |
| ·Ni-Si 二元系 | 第25-26页 |
| ·Ni-P 二元系 | 第26页 |
| ·Si-P 二元系 | 第26页 |
| ·Ni-Si-P 三元系 | 第26-28页 |
| ·实验方法 | 第28-29页 |
| ·实验结果与分析 | 第29-44页 |
| ·本章小结 | 第44-46页 |
| 第4章 多晶硅中磷含量对杂质金属扩散系数的影响 | 第46-52页 |
| ·引言 | 第46页 |
| ·实验方法 | 第46-48页 |
| ·硅磷合金的制备 | 第47-48页 |
| ·固固扩散偶的制备 | 第48页 |
| ·实验结果与分析 | 第48-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 Si-M(M=Al, Cu)原子移动性参数的优化与计算 | 第52-61页 |
| ·引言 | 第52页 |
| ·原子移动性参数计算模型 | 第52-53页 |
| ·实验数据评估 | 第53-54页 |
| ·Cu-Si 二元系 | 第53页 |
| ·Al-Si 二元系 | 第53-54页 |
| ·Al-Cu 二元系 | 第54页 |
| ·Al-Cu-Si 三元系 | 第54页 |
| ·计算结果及讨论 | 第54-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第6章 全文总结 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 附录 A 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第69页 |