钢基镶嵌结构金刚石薄膜的制备与性能研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-25页 |
| ·前言 | 第11页 |
| ·金刚石的结构、性质和应用 | 第11-15页 |
| ·金刚石的结构 | 第11-13页 |
| ·金刚石的性质及应用 | 第13-15页 |
| ·影响金刚石膜生长的因素 | 第15-18页 |
| ·反应气源 | 第15-16页 |
| ·工作炉压 | 第16-17页 |
| ·基片温度 | 第17页 |
| ·基片材料 | 第17页 |
| ·基片的预处理 | 第17-18页 |
| ·钢铁基体表面沉积金刚石膜的研究进展 | 第18-22页 |
| ·钢基金刚石膜过渡层研究进展 | 第19-20页 |
| ·钢基镶嵌结构界面金刚石膜 | 第20-22页 |
| ·研究目的及研究内容 | 第22-25页 |
| ·研究目的 | 第22-23页 |
| ·研究内容 | 第23-25页 |
| 第二章 实验方法 | 第25-33页 |
| ·实验材料及预处理 | 第25-26页 |
| ·实验材料 | 第25页 |
| ·实验材料的预处理 | 第25-26页 |
| ·实验设备及原理 | 第26-30页 |
| ·直流电镀电源及直流电镀原理 | 第26页 |
| ·脉冲电镀电源及脉冲电镀原理 | 第26-28页 |
| ·热丝化学气相沉积设备 | 第28-30页 |
| ·磁控溅射设备及原理 | 第30页 |
| ·性能检测 | 第30-33页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第30-31页 |
| ·能谱仪（EDS） | 第31页 |
| ·激光拉曼光谱仪（Raman） | 第31-32页 |
| ·X 射线衍射仪 | 第32页 |
| ·表面洛氏硬度计 | 第32-33页 |
| 第三章 钢基 CVD 金刚石涂层过渡层的制备 | 第33-51页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·电镀 Cr 层的研究 | 第33-38页 |
| ·镀层形貌 | 第34-36页 |
| ·镀铬层的热处理 | 第36-37页 |
| ·Cr 层扩散阻挡性能 | 第37-38页 |
| ·磁控溅射 Cr/Mo 膜的研究 | 第38-41页 |
| ·Cr/Mo 膜的形貌 | 第38-39页 |
| ·Cr/Mo 膜热处理前后的相组成 | 第39-40页 |
| ·Cr/Mo 膜的扩散阻挡性能 | 第40-41页 |
| ·Cr-金刚石复合镀工艺的研究 | 第41-47页 |
| ·Cr-金刚石复合电镀液的选择 | 第42页 |
| ·电流密度对复合镀层质量的影响 | 第42-45页 |
| ·金刚石颗粒大小对镀层影响 | 第45-47页 |
| ·压入法制备镶嵌复合层的研究 | 第47-49页 |
| ·镶嵌复合层的制备 | 第47-48页 |
| ·复合过渡层的形貌 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 第四章 不同复合过渡层上沉积金刚石涂层的研究 | 第51-69页 |
| ·前言 | 第51页 |
| ·压入式复合层上沉积金刚石膜的研究 | 第51-57页 |
| ·金刚石膜的制备工艺 | 第51-53页 |
| ·金刚石涂层表面形貌 | 第53-54页 |
| ·金刚石膜的剥落 | 第54-56页 |
| ·金刚石膜的拉曼光谱分析 | 第56-57页 |
| ·Cr-金刚石复合过渡层上沉积金刚石涂层的研究 | 第57-61页 |
| ·金刚石涂层的制备工艺 | 第57-58页 |
| ·金刚石涂层表面形貌分析 | 第58-59页 |
| ·金刚石膜脱落的原因分析 | 第59-61页 |
| ·Cr-金刚石复合过渡层上沉积金刚石涂层的改进 | 第61-67页 |
| ·过渡层的制备及 CVD 工艺 | 第61-63页 |
| ·复合金刚石涂层的表面形貌 | 第63-66页 |
| ·XRD 与拉曼光谱分析 | 第66-67页 |
| ·本章小结 | 第67-69页 |
| 第五章 金刚石膜/基界面粘附性能的研究 | 第69-75页 |
| ·引言 | 第69页 |
| ·金刚石膜结合力的评价 | 第69-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 结论 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-83页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第83-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
| 附件 | 第85页 |
