| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-23页 |
| ·课题背景 | 第9-10页 |
| ·透明导电氧化物薄膜概述 | 第10-11页 |
| ·ZnO: Al (AZO)薄膜概述 | 第11-15页 |
| ·ZnO 的晶体结构 | 第11-12页 |
| ·ZnO 薄膜的光学和电学特性 | 第12-13页 |
| ·ZnO: Al (AZO) 薄膜的光学和电学特性 | 第13-15页 |
| ·AZO 薄膜国内外研究现状 | 第15-20页 |
| ·氧分压对 AZO 薄膜光电性能的影响 | 第15-17页 |
| ·种子层对 AZO 薄膜晶体结构与光电性能的影响 | 第17-18页 |
| ·退火对 AZO 薄膜光电性能的影响 | 第18-20页 |
| ·本文主要研究内容和创新点 | 第20-22页 |
| ·氧分压的控制 | 第20-21页 |
| ·提高低温沉积 AZO 薄膜的光电性能 | 第21-22页 |
| ·创新点 | 第22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 第2章 AZO 薄膜的制备与表征 | 第23-37页 |
| ·实验方法简介 | 第23-33页 |
| ·溅射沉积原理 | 第23-25页 |
| ·非反应溅射 | 第25-27页 |
| ·反应溅射 | 第27-28页 |
| ·磁控溅射 | 第28-29页 |
| ·反应气体控制 | 第29-33页 |
| ·AZO 薄膜的制备 | 第33-34页 |
| ·薄膜的表征 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-37页 |
| 第3章 氧分压对 AZO 薄膜的影响 | 第37-47页 |
| ·氧分压对 AZO 薄膜晶体结构的影响 | 第37-40页 |
| ·氧分压对 AZO 薄膜光电性能的影响 | 第40-43页 |
| ·AZO 薄膜电学与光学性能的关联性分析 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 第4章 ZnO 种子层对 AZO 薄膜结构和性能的影响 | 第47-57页 |
| ·制备 ZnO 种子层氧气流量的确定 | 第47-48页 |
| ·ZnO 种子层对 AZO 薄膜光电性能的影响 | 第48-49页 |
| ·ZnO 种子层失效分析 | 第49-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 第5章 退火对 AZO 薄膜结构和性能的影响 | 第57-63页 |
| ·退火对 AZO 薄膜结构的影响 | 第57-58页 |
| ·退火对 AZO 薄膜电学性能的影响 | 第58-59页 |
| ·退火对 AZO 薄膜光学性能的影响 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-63页 |
| 结论 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71页 |