活动模板微小群孔电解加工技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-25页 |
| ·课题背景 | 第13页 |
| ·微细加工技术 | 第13-19页 |
| ·硅微细加工技术 | 第13-14页 |
| ·LIGA 和准LIGA 技术 | 第14-15页 |
| ·微细机械加工技术 | 第15-16页 |
| ·微细电解加工技术 | 第16-17页 |
| ·微细电火花加工技术 | 第17-18页 |
| ·激光微细加工技术 | 第18-19页 |
| ·微小群孔结构及其加工方法 | 第19-23页 |
| ·微小群孔结构的特点及应用 | 第19-20页 |
| ·微小群孔结构的加工方法 | 第20-23页 |
| ·课题的研究意义及主要内容 | 第23-25页 |
| ·课题的研究目的及意义 | 第23-24页 |
| ·课题的主要研究内容 | 第24-25页 |
| 第二章 活动模板电解加工理论基础 | 第25-37页 |
| ·电解加工基础理论 | 第25-28页 |
| ·法拉第定律 | 第25-26页 |
| ·电极/溶液界面双电层 | 第26-27页 |
| ·阳极极化 | 第27-28页 |
| ·电解加工工艺原理及特点 | 第28-30页 |
| ·电解加工电化学原理 | 第28-29页 |
| ·电解加工的特点 | 第29-30页 |
| ·阴极活动模板双面电解加工机理 | 第30-33页 |
| ·阴极活动模板双面电解加工机理 | 第30-31页 |
| ·影响阴极活动模板电解加工精度的因素 | 第31-33页 |
| ·电解加工有限元电场分析 | 第33-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 活动模板电解加工工艺系统 | 第37-51页 |
| ·电解加工装备 | 第37-46页 |
| ·电解加工机床 | 第37-38页 |
| ·电解加工电源 | 第38-40页 |
| ·直流电源 | 第38页 |
| ·斩波器 | 第38-40页 |
| ·电解液循环系统 | 第40-46页 |
| ·电解液系统 | 第40-42页 |
| ·冲液方式设计 | 第42-43页 |
| ·电解液流速和冲液压力的确定 | 第43-45页 |
| ·电解液选择 | 第45-46页 |
| ·电解夹具设计 | 第46-47页 |
| ·阴极模板制作 | 第47-49页 |
| ·模板材料 | 第47-48页 |
| ·阴极模板制作 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 第四章 多孔径微小群孔电解加工工艺研究 | 第51-68页 |
| ·群孔加工试验介绍及分析 | 第51-53页 |
| ·衡量群孔加工质量的标准 | 第51-52页 |
| ·单面加工与双面加工方法的比较 | 第52-53页 |
| ·多孔径微小群孔电解加工试验及分析 | 第53-66页 |
| ·试验介绍 | 第53-54页 |
| ·夹具状态对加工结果的影响 | 第54-59页 |
| ·夹紧凸起间距对加工结果的影响 | 第54-56页 |
| ·流道深度对加工结果的影响 | 第56-59页 |
| ·绝缘层厚度对加工结果的影响 | 第59-62页 |
| ·占空比对加工结果的影响 | 第62-64页 |
| ·电解液压力对加工结果的影响 | 第64-66页 |
| ·弹性夹紧状态多孔径微小群孔加工 | 第66-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第五章 总结与展望 | 第68-70页 |
| ·本文的主要结论 | 第68页 |
| ·对本课题研究的展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第74页 |
