| 中文摘要 | 第1-17页 |
| ABSTRACT | 第17-22页 |
| 符号说明 | 第22-23页 |
| 第一章 绪论 | 第23-62页 |
| ·概述 | 第23-24页 |
| ·透明导电薄膜的基本特性 | 第24-27页 |
| ·透明导电金属薄膜 | 第24-25页 |
| ·透明导电氧化物薄膜 | 第25-26页 |
| ·有机透明导电薄膜 | 第26-27页 |
| ·透明导电氧化物薄膜的研究现状 | 第27-36页 |
| ·SnO2薄膜及其掺杂体系 | 第27-29页 |
| ·In2O3薄膜及其掺杂体系 | 第29-33页 |
| ·ZnO薄膜及其掺杂体系 | 第33-36页 |
| ·其他透明导电氧化物薄膜 | 第36页 |
| ·透明导电氧化物薄膜的制备方法 | 第36-44页 |
| ·真空蒸发镀膜 | 第37页 |
| ·溅射镀膜 | 第37-39页 |
| ·离子成膜技术 | 第39-41页 |
| ·化学气相沉积 | 第41页 |
| ·脉冲激光沉积 | 第41-42页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第42-43页 |
| ·喷涂热分解法 | 第43-44页 |
| ·透明导电氧化物薄膜的应用 | 第44-45页 |
| ·多层透明导电氧化物薄膜的研究现状 | 第45-52页 |
| ·金属基三明治结构透明导电氧化物薄膜的研究现状 | 第45-49页 |
| ·具有缓冲层的透明导电氧化物薄膜的研究现状 | 第49-52页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第52-55页 |
| 参考文献 | 第55-62页 |
| 第二章 薄膜制备及表征方法 | 第62-78页 |
| ·制备方法及原理 | 第62-70页 |
| ·磁控溅射 | 第62-63页 |
| ·溅射原理 | 第63-67页 |
| ·离子束溅射 | 第67-68页 |
| ·MIS-560B型超高真空磁控溅射与离子束溅射复合镀膜设备 | 第68-70页 |
| ·表征方法及原理 | 第70-77页 |
| ·薄膜电学特性的测量 | 第70-72页 |
| ·薄膜厚度的测量 | 第72-73页 |
| ·薄膜光学特性的测量 | 第73-74页 |
| ·薄膜相结构分析 | 第74-75页 |
| ·薄膜形貌分析 | 第75-77页 |
| ·小结 | 第77页 |
| 参考文献 | 第77-78页 |
| 第三章 GZO/Ag/GZO多层透明导电薄膜的制备与特性研究 | 第78-109页 |
| ·样品制备 | 第78-81页 |
| ·TCO/M/TCO结构多层膜的光学特性理论 | 第81-88页 |
| ·金属薄膜的光学特性 | 第81-84页 |
| ·多层膜的光学特性 | 第84-88页 |
| ·TCO/M/TCO结构多层膜的电学特性理论 | 第88-91页 |
| ·各层厚度对GZO/Ag/ZO多层膜特性的影响 | 第91-102页 |
| ·Ag层厚度对GZO/Ag/GZO多层膜特性的影响 | 第92-96页 |
| ·上层GZO厚度对GZO/Ag/GZO多层膜特性的影响 | 第96-100页 |
| ·下层GZO厚度对GZO/Ag/GZO多层膜特性的影响 | 第100-102页 |
| ·真空退火对GZO/Ag/GZO多层膜特性的影响 | 第102-106页 |
| ·真空退火对GZO/Ag/GZO多层膜结构特性的影响 | 第102-105页 |
| ·真空退火对GZO/Ag/GZO多层膜光电特性的影响 | 第105-106页 |
| ·小结 | 第106-107页 |
| 参考文献 | 第107-109页 |
| 第四章 具有缓冲层的ITO和AZO薄膜的制备与特性研究 | 第109-130页 |
| ·TiO_2/ITO薄膜的特性研究 | 第109-116页 |
| ·样品制备 | 第110-112页 |
| ·ZiO_2厚度对TiO_2/ITO双层薄膜结构特性的影响 | 第112-114页 |
| ·ZiO_2厚度对TiO_2/ITO双层薄膜电学特性的影响 | 第114-116页 |
| ·ZiO_2厚度对TiO_2/ITO双层薄膜光学特性的影响 | 第116页 |
| ·ITO/ITO薄膜的特性研究 | 第116-121页 |
| ·样品制备 | 第116-118页 |
| ·ITO缓冲层厚度对ITO/ITO双层薄膜结构特性的影响 | 第118-120页 |
| ·ITO缓冲层厚度对ITO/ITO双层薄膜电学特性的影响 | 第120-121页 |
| ·ITO缓冲层厚度对ITO/ITO双层薄膜光学特性的影响 | 第121页 |
| ·AZO/AZO薄膜的特性研究 | 第121-127页 |
| ·样品制备 | 第122-123页 |
| ·AZO缓冲层厚度对AZO/AZO双层薄膜结构特性的影响 | 第123-125页 |
| ·AZO缓冲层厚度对AZO/AZO双层薄膜电学特性的影响 | 第125-126页 |
| ·AZO缓冲层厚度对AZO/AZO双层薄膜光学特性的影响 | 第126-127页 |
| ·小结 | 第127-128页 |
| 参考文献 | 第128-130页 |
| 第五章 YZO透明导电薄膜的制备 | 第130-140页 |
| ·YZO透明导电薄膜的制备与测试 | 第131-133页 |
| ·YZO薄膜的制备 | 第131-133页 |
| ·YZO薄膜的测试 | 第133页 |
| ·YZO透明导电薄膜的特性研究 | 第133-137页 |
| ·小结 | 第137-138页 |
| 参考文献 | 第138-140页 |
| 第六章 总结 | 第140-143页 |
| ·主要结果 | 第140-142页 |
| ·主要创新点 | 第142-143页 |
| 附图、表目录 | 第143-147页 |
| 致谢 | 第147-148页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文目录 | 第148-150页 |
| 附录:发表英文论文 | 第150-159页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第159页 |
