三乙氧基硅烷歧化制取甲硅烷工艺研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
第1章 绪论	第8-20页
·课题背景	第8-10页
·硅材料的性质和研究进展	第10-19页
·工业硅及研究进展	第11-12页
·多晶硅及研究进展	第12-17页
·多晶硅生产工艺对比	第17-18页
·有机硅性质	第18-19页
·本课题主要研究内容	第19-20页
第2章 实验材料及测试方法	第20-25页
·实验仪器及药品	第20-21页
·实验所需仪器	第20页
·实验所需药品	第20-21页
·表征和测试方法	第21-25页
第3章 三乙氧基硅烷歧化并制取硅烷工艺研究	第25-42页
·引言	第25页
·三乙氧基硅烷歧化实验装置及工艺流程图	第25-29页
·三乙氧基硅烷歧化实验装置	第25-26页
·三乙氧基硅烷歧化工艺流程图	第26-29页
·药品预处理	第29-30页
·三乙氧基硅烷歧化制取甲硅烷工艺参数研究	第30-38页
·溶剂的影响	第31-35页
·温度的影响	第35-36页
·助催化剂的影响	第36-37页
·原料预处理的影响	第37-38页
·产物的定量分析	第38-40页
·本章小结	第40-42页
第4章 三乙氧基硅烷歧化制取甲硅烷机理研究	第42-52页
·引言	第42-43页
·硅原子的结构与性质	第43-44页
·硅的电负性及键能	第43-44页
·硅烷偶联剂偶联机理	第44-46页
·三乙氧基硅烷歧化机理研究	第46-48页
·助催化剂机理的研究	第48-49页
·甲硅烷氧化机理的研究	第49-51页
·甲硅烷物化性质	第49-50页
·甲硅烷氧化机理研究	第50-51页
·本章小结	第51-52页
结论	第52-53页
参考文献	第53-57页
致谢	第57页