基于LabVIEW的椭圆偏振技术及在检测不锈钢着色膜中的应用
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| ·本课题研究的目的及意义 | 第9-10页 |
| ·国内外相关技术发展现状 | 第10-12页 |
| ·国外发展状况 | 第10-11页 |
| ·国内发展状况 | 第11-12页 |
| ·检测薄膜特性的方法 | 第12-14页 |
| ·本文主要完成内容 | 第14-15页 |
| 第2章 消光式椭圆偏振检测的原理 | 第15-38页 |
| ·引言 | 第15页 |
| ·反射型椭圆偏振测量理论 | 第15-28页 |
| ·均匀、各项同性的介质组成的样品 | 第15-17页 |
| ·固体金属表面 | 第17-18页 |
| ·均匀、各项同性的单层介质薄膜样品 | 第18-22页 |
| ·单层吸收薄膜样品 | 第22-28页 |
| ·消光法测量理论 | 第28-32页 |
| ·算法及程序 | 第32-36页 |
| ·数值反演求解 | 第33-34页 |
| ·程序 | 第34-36页 |
| ·本章小节 | 第36-38页 |
| 第3章 基于LabVIEW的椭圆偏振自动测量系统 | 第38-50页 |
| ·引言 | 第38页 |
| ·LabVIEW与第三方硬件的连接 | 第38-41页 |
| ·高精度椭圆偏振自动测量系统 | 第41-48页 |
| ·光学系统模块 | 第41-42页 |
| ·控制系统模块 | 第42-45页 |
| ·信号采集系统模块 | 第45-47页 |
| ·数据处理模块 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 第4章 系统实现与在检测不锈钢着色膜中的应用 | 第50-61页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·光路的调节 | 第50-54页 |
| ·实验参数的设置 | 第54-55页 |
| ·实验结果分析 | 第55-59页 |
| ·实验 | 第55-58页 |
| ·结果分析 | 第58-59页 |
| ·误差分析 | 第59-60页 |
| ·误差来源 | 第59页 |
| ·减小误差的方法 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 结论 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 附录一 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
