高精度二维平面光栅测量系统及关键技术研究

第一章 绪论	第1-31页
·二维精密测量系统概述	第15-19页
·光栅测量系统发展现状及趋势	第19-29页
·光栅	第19-21页
·光栅位移测量技术概述	第21-27页
·莫尔条纹细分技术	第27页
·光栅测量系统国内外研究状况	第27-29页
·课题研究的来源、目的及内容	第29-31页
第二章 二维平面光栅位移测量的基本理论	第31-51页
·二维光栅的衍射特性分析	第31-42页
·二维反射光栅的衍射特性分析	第31-38页
·二维光栅的衍射方程	第38-42页
·二维光栅位移测量的基本原理	第42-47页
·光程差分析法	第43页
·激光多普勒分析法	第43-47页
·光源和光学镜片对测量的影响	第47-50页
·理论基础	第47-49页
·分光光束能量分析	第49-50页
·小结	第50-51页
第三章 二维平面光栅测量系统分析与设计	第51-77页
·系统结构组成	第51-52页
·莫尔条纹信号分析	第52-57页
·激光光束对干涉信号的影响	第53-55页
·导轨运动误差对莫尔条纹的影响	第55-56页
·莫尔条纹的空间分布	第56-57页
·光栅定位对莫尔条纹的影响	第57-59页
·光路设计	第59-64页
·光栅的选取	第59-60页
·测量光路的设计	第60-61页
·干涉检测光路设计	第61-63页
·其他光学元件	第63-64页
·激光光源分析	第64-69页
·激光二极管	第64-65页
·温度的影啊	第65-66页
·半导体激光器的稳频	第66页
·半导体激光器输出的光学准直	第66-69页
·信号检测系统设计	第69-74页
·光电检测元件	第69-71页
·光电检测电路	第71-74页
·系统实验	第74-76页
·小结	第76-77页
第四章 二维平面光栅测量系统信号处理技术	第77-97页
·光栅信号细分方法概述	第77-81页
·常用细分方法比较	第78-79页
·二维光栅测量信号计数细分技术	第79-81页
·基于BP神经网络的二维光栅信号细分方法	第81-92页
·二维光栅测量系统的计数细分系统	第82-84页
·正交信号零漂的消除	第84页
·基于BP网络的光栅细分技术	第84-92页
·二维光栅信号细分的实验研究	第92-96页
·大周期计数	第93页
·神经网络细分	第93-96页
·小结	第96-97页
第五章 二维平面光栅测量系统精度实验	第97-116页
·测量系统的误差来源分析	第97-98页
·光源误差分析	第98-101页
·激光波长波动引入的误差分析	第99-101页
·光源其他特性对测量的影响	第101页
·减小光源误差源途径	第101页
·二维光栅带来的误差	第101-105页
·光栅的刻划误差	第102-104页
·光栅基坯缺陷及尺面质量	第104-105页
·减小光栅误差影响方法	第105页
·光路结构误差分析	第105-109页
·光栅在X、Y轴定位误差	第105-107页
·光栅平面在Z轴的定位误差	第107-109页
·减小光栅定位误差影响方法	第109页
·电路误差分析	第109-111页
·光电转换误差	第109-110页
·计数细分误差	第110-111页
·测量环境误差影响分析	第111-113页
·温度影响	第111-112页
·振动及空气扰动的影响	第112-113页
·减小测量环境误差途径	第113页
·二维光栅测量系统精度实验	第113-115页
·测量系统精度评估	第113-114页
·测量系统精度实验	第114-115页
·小结	第115-116页
第六章 总结和展望	第116-118页
参考文献	第118-126页
攻读博士学位期间发表的论文	第126页