椭圆偏振光谱技术及其对功能薄膜材料的性能表征
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 第一章 综述 | 第10-18页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·椭偏测量术的产生背景与研究进展 | 第11-12页 |
| ·椭偏测量术的产生背景 | 第11页 |
| ·椭偏测量术的研究进展 | 第11-12页 |
| ·椭偏测量术的应用简介 | 第12-14页 |
| ·论文工作主要内容 | 第14页 |
| ·本章小结 | 第14页 |
| 参考文献 | 第14-18页 |
| 第二章 椭圆偏振测量术原理 | 第18-28页 |
| ·椭圆偏振光及椭圆偏振测量概要 | 第18-20页 |
| ·椭圆偏振光 | 第18-19页 |
| ·椭圆偏振测量概要 | 第19-20页 |
| ·椭圆偏振测量理论 | 第20-24页 |
| ·光度法测量原理 | 第24-26页 |
| ·本章小结 | 第26页 |
| 参考文献 | 第26-28页 |
| 第三章 椭圆偏振测量仪 | 第28-37页 |
| ·消光椭偏仪 | 第28-32页 |
| ·元件组成 | 第28-30页 |
| ·消光椭偏仪的自动化 | 第30-32页 |
| ·自动光度椭偏仪 | 第32-33页 |
| ·RAP-Ⅰ型自动椭偏仪 | 第33-35页 |
| ·原理 | 第33-35页 |
| ·系统的校准与定标 | 第35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 参考文献 | 第36-37页 |
| 第四章 椭偏数据解谱 | 第37-45页 |
| ·解谱软件设计 | 第37-38页 |
| ·设计窗口 | 第37页 |
| ·材料窗口 | 第37-38页 |
| ·优化窗口 | 第38页 |
| ·解谱时对样品参数的设置和模型的选择 | 第38-44页 |
| ·参数设置 | 第38-39页 |
| ·模型选择 | 第39-44页 |
| ·解谱结果的精度分析 | 第44页 |
| ·本章小结 | 第44页 |
| 参考文献 | 第44-45页 |
| 第五章 椭偏测量术的应用 | 第45-71页 |
| ·椭偏测量术在超薄金属Ag膜中的应用 | 第45-50页 |
| ·引言 | 第45页 |
| ·实验结果及分析 | 第45-50页 |
| ·结语 | 第50页 |
| ·溅射ITO薄膜的光学常数研究 | 第50-56页 |
| ·引言 | 第50-51页 |
| ·实验 | 第51-52页 |
| ·结果与分析 | 第52-56页 |
| ·结语 | 第56页 |
| ·ITO薄膜的透射谱研究 | 第56-61页 |
| ·引言 | 第56-57页 |
| ·实验 | 第57-58页 |
| ·结果与分析 | 第58-61页 |
| ·结语 | 第61页 |
| ·Ag-ITO纳米复合薄膜的光学常数研究 | 第61-66页 |
| ·引言 | 第61-62页 |
| ·实验 | 第62页 |
| ·结果与分析 | 第62-66页 |
| ·结语 | 第66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 第六章 全文总结 | 第71-73页 |
| ·论文工作成果 | 第71页 |
| ·今后的工作 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 攻读硕士学位期间发表文章目录 | 第74页 |
