结晶器内腔尺寸自动测量机误差分离与修正方法研究
| 第一章 绪论 | 第1-16页 |
| ·三坐标测量机及其发展现状 | 第11-12页 |
| ·三坐标测量机误差修正国内外概况 | 第12-14页 |
| ·课题来源及研究目的 | 第14-15页 |
| ·本论文研究内容 | 第15-16页 |
| 第二章 结晶器内腔尺寸测量机误差分析及精度设计 | 第16-31页 |
| ·结晶器尺寸测量机原理结构 | 第16-18页 |
| ·结晶器尺寸测量机测量原理 | 第16页 |
| ·结晶器尺寸测量机主机结构 | 第16-18页 |
| ·结晶器内腔尺寸测量机测量系统组成 | 第18页 |
| ·传统的三坐标测量机误差源分析及检定 | 第18-19页 |
| ·结晶器尺寸测量机误差分析 | 第19-27页 |
| ·标准量误差 | 第19-21页 |
| ·阿贝误差 | 第21-22页 |
| ·垂直度误差 | 第22-23页 |
| ·测头瞄准定位误差 | 第23-24页 |
| ·力变形误差 | 第24-27页 |
| ·其他误差 | 第27页 |
| ·结晶器尺寸测量机精度设计 | 第27-30页 |
| ·按等作用原则的精度初步设计 | 第27-28页 |
| ·按可能性调整分配X、Y、Z三个方向误差 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 结晶器内腔尺寸自动测量机误差数学模型研究 | 第31-34页 |
| ·误差数学模型的建立 | 第31-33页 |
| ·各种误差对数学模型的影响 | 第33页 |
| ·力变形误差 | 第33页 |
| ·热变形误差 | 第33页 |
| ·探测误差 | 第33页 |
| ·动态误差 | 第33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 结晶器内腔尺寸测量机误差分离实验系统设计 | 第34-39页 |
| ·结晶器尺寸测量机误差分离实验方案的确立 | 第34-37页 |
| ·丝杠系统误差分离 | 第34-35页 |
| ·导轨直线度运动误差的分离 | 第35-36页 |
| ·垂直度误差的分离 | 第36-37页 |
| ·实验准备 | 第37页 |
| ·实验步骤和说明 | 第37-38页 |
| ·X轴的测量 | 第37页 |
| ·Y轴的测量 | 第37-38页 |
| ·Z轴的测量 | 第38页 |
| ·实验数据记录 | 第38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第五章 实验数据处理及误差修正方法研究 | 第39-60页 |
| ·数据处理软件的编制 | 第39-41页 |
| ·三次样条插值理论 | 第39-40页 |
| ·三次样条曲线拟合与Matlab曲线拟合的比较 | 第40-41页 |
| ·基于三次样条插值原理的数据拟合程序 | 第41-44页 |
| ·实验数据的插值拟合 | 第44-53页 |
| ·X轴的数据分析 | 第44-49页 |
| ·Y轴数据分析 | 第49-51页 |
| ·Z轴数据分析 | 第51-53页 |
| ·结晶器内腔尺寸测量机的误差修正方法研究 | 第53-59页 |
| ·X轴误差的修正 | 第54-57页 |
| ·Y轴误差的修正 | 第57-58页 |
| ·Z轴误差的修正 | 第58页 |
| ·结论 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第六章 总结与展望 | 第60-62页 |
| ·课题研究总结 | 第60页 |
| ·研究工作展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 附录 | 第65-70页 |
| 在读期间发表的学术论文 | 第70页 |
