| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-12页 |
| ·MEMS 微加速度计研究背景及意义 | 第8-9页 |
| ·MEMS 微加速度计国内外发展现状及趋势 | 第9-11页 |
| ·本文的主要内容 | 第11-12页 |
| 第二章 MEMS电容式微加速度计 | 第12-19页 |
| ·MEMS 微加速度计的模型及工作原理 | 第12-14页 |
| ·MEMS 微加速度计的种类 | 第14-15页 |
| ·MEMS 电容式微加速度计模型及工作原理 | 第15-19页 |
| 第三章 开关电容型微加速度计电容检测电路的分析与设计 | 第19-45页 |
| ·电容式检测电路的种类 | 第19页 |
| ·开关电容电路 | 第19-24页 |
| ·两相非重叠时钟 | 第20-21页 |
| ·开关电容模拟电阻及其优点 | 第21-24页 |
| ·开关电容电路的非理想因素 | 第24-29页 |
| ·电荷注入 | 第24-26页 |
| ·时钟馈通 | 第26页 |
| ·降低电荷注入和时钟馈通的影响 | 第26-27页 |
| ·运算放大器的非理想特性 | 第27-29页 |
| ·自动归零与相关双采样 | 第29-33页 |
| ·自动归零技术 | 第29-31页 |
| ·相关双采样 | 第31-33页 |
| ·可重置型开关电容增益电路 | 第33-35页 |
| ·开关电容型检测电路的分析与设计 | 第35-42页 |
| ·共模与差模分析 | 第37-40页 |
| ·闭环电路反馈系数β | 第40-42页 |
| ·开关电容型检测电路的噪声 | 第42-45页 |
| ·闪烁(1/f)噪声 | 第42页 |
| ·MOS 管热噪声 | 第42-43页 |
| ·kT/C 噪声 | 第43-45页 |
| 第四章 运算放大器的分析与设计 | 第45-60页 |
| ·运算放大器的种类及比较 | 第45页 |
| ·全差分增益增强运放的分析与设计 | 第45-49页 |
| ·增益增强运放的频率特性 | 第49-52页 |
| ·辅助运放的分析与设计 | 第52-55页 |
| ·开关电容共模反馈电路 | 第55-57页 |
| ·增益增强运放的噪声分析 | 第57-60页 |
| 第五章 开关电容型检测电路的仿真及版图设计 | 第60-68页 |
| ·运算放大器的仿真 | 第60-63页 |
| ·开关电容型检测电路的仿真 | 第63-65页 |
| ·版图的设计 | 第65-68页 |
| 第六章 结论 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第74-75页 |