石英玻璃ELID磨削表面质量研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-30页 |
| ·ELID 磨削的基本原理及特点 | 第12-14页 |
| ·ELID 磨削的基本原理 | 第12-13页 |
| ·ELID 磨削的特点 | 第13-14页 |
| ·影响ELID 磨削的主要因素 | 第14-20页 |
| ·磨削砂轮 | 第14-19页 |
| ·电解电源 | 第19-20页 |
| ·ELID 磨削液 | 第20页 |
| ·石英玻璃简介 | 第20-21页 |
| ·组份 | 第20页 |
| ·性质 | 第20-21页 |
| ·硬脆材料加工的特殊性 | 第21页 |
| ·对塑性域的认识 | 第21-25页 |
| ·尖锐压头对硬脆材料压印实验的脆塑性变形理论 | 第21-23页 |
| ·硬脆材料超精密磨削 | 第23-25页 |
| ·硬脆材料磨削后的表面质量 | 第25-26页 |
| ·一般评价方法 | 第26-28页 |
| ·光学显微镜分析 | 第27页 |
| ·粗糙度测试仪分析 | 第27页 |
| ·表面光度仪分析 | 第27页 |
| ·扫描电镜(SEM)分析 | 第27-28页 |
| ·原子力显微镜(AFM)分析 | 第28页 |
| ·本实验的目的、意义及主要内容 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第2章 实验设备及分析方法 | 第30-34页 |
| ·实验设备 | 第30-31页 |
| ·平面磨床设备简介 | 第30页 |
| ·GSL-1600X 管式高温实验电炉 | 第30页 |
| ·SMD-10 型数控双脉冲电镀电源 | 第30-31页 |
| ·样品制备 | 第31页 |
| ·实验分析方法 | 第31-33页 |
| ·表面光度仪分析 | 第31-32页 |
| ·原子力显微镜分析 | 第32页 |
| ·光学显微镜分析 | 第32页 |
| ·数字化光电转速计 | 第32-33页 |
| ·加工组件平整度测定 | 第33页 |
| ·实验步骤 | 第33-34页 |
| 第3章 金刚石砂轮的制备及电解过程的研究 | 第34-45页 |
| ·金刚石砂轮的制备 | 第34-35页 |
| ·混料 | 第34页 |
| ·成型 | 第34-35页 |
| ·烧结 | 第35页 |
| ·金刚石砂轮硬度实验结果分析 | 第35-36页 |
| ·金刚石砂轮的电解实验 | 第36-40页 |
| ·不同频率的条件下电解电流的变化 | 第36-37页 |
| ·脉冲电源占空比不同条件下电解电流的变化 | 第37-39页 |
| ·不同输出电压条件下电解电流的变化 | 第39-40页 |
| ·氧化膜微观形貌和金刚石突出量测定 | 第40-43页 |
| ·氧化膜的微观形貌 | 第40-41页 |
| ·氧化膜的X 射线衍射分析 | 第41页 |
| ·砂轮结合剂对金刚石颗粒的把持能力 | 第41-43页 |
| ·金刚石砂轮的断口分析 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第4 章石英玻璃塑性域的研究 | 第45-55页 |
| ·实验结果分析 | 第45-49页 |
| ·不同磨削条件的样品表面粗糙度对比 | 第46-48页 |
| ·不同磨削方式下的样品表面质量对比 | 第48-49页 |
| ·利用光学显微镜对制得的样品的表面进行初步观测 | 第49-50页 |
| ·利用原子力显微镜对样品分析表面形貌 | 第50-52页 |
| ·ELID 磨削微观机制的讨论 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 结论 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-61页 |
| 在攻读硕士学位期间承担的科研任务与研究成果 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 作者简介 | 第63页 |
