| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-30页 |
| ·引言 | 第12页 |
| ·铁电薄膜器件中的电极材料 | 第12-16页 |
| ·电极材料概述 | 第12-14页 |
| ·电极材料在铁电薄膜器件中的应用 | 第14-16页 |
| ·IrO_2薄膜的研究现状 | 第16-22页 |
| ·IrO_2的晶体结构与性质 | 第16-17页 |
| ·IrO_2薄膜的制备技术 | 第17-22页 |
| ·脉冲激光沉积技术简介 | 第22-28页 |
| ·脉冲激光沉积技术的原理 | 第22-24页 |
| ·脉冲激光沉积技术的特点与应用 | 第24-26页 |
| ·脉冲激光沉积技术的控制参数 | 第26-28页 |
| ·本论文的提出、研究目的与研究内容 | 第28-30页 |
| 第2章 后续氧化Ir制备IrO_2薄膜及其结构表征 | 第30-46页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·实验与测试 | 第30-34页 |
| ·实验过程与原料 | 第30-33页 |
| ·测试方法与原理 | 第33-34页 |
| ·Ir薄膜的沉积与结构表征 | 第34-37页 |
| ·Ir薄膜的后续氧化与结构表征 | 第37-45页 |
| ·氧化温度对薄膜物相和结构的影响 | 第38-42页 |
| ·衬底类型对薄膜物相和结构的影响 | 第42-45页 |
| ·小结 | 第45-46页 |
| 第3章 脉冲激光沉积原位反应制备IrO_2薄膜与结构表征 | 第46-75页 |
| ·引言 | 第46页 |
| ·实验 | 第46-47页 |
| ·结果与讨论 | 第47-74页 |
| ·氧分压对IrO_2薄膜组成和结构的影响 | 第47-51页 |
| ·衬底温度对IrO_2薄膜组成和结构的影响 | 第51-59页 |
| ·激光输出能量对IrO_2薄膜组成和结构的影响 | 第59-64页 |
| ·基板与靶材距离对IrO_2薄膜组成和结构的影响 | 第64-67页 |
| ·衬底类型对IrO_2薄膜组成和结构的影响 | 第67-69页 |
| ·退火工艺对IrO_2薄膜组成和结构的影响 | 第69-74页 |
| ·小结 | 第74-75页 |
| 第4章 IrO_2薄膜的电学与光学性能 | 第75-99页 |
| ·引言 | 第75页 |
| ·测试方法与原理 | 第75-78页 |
| ·薄膜的电性能测试 | 第75-77页 |
| ·薄膜的光学性能测试 | 第77-78页 |
| ·IrO2薄膜的导电性能 | 第78-94页 |
| ·Ir薄膜的室温电阻率 | 第78-79页 |
| ·IrO_2薄膜的室温电阻率 | 第79-88页 |
| ·厚度对IrO_2薄膜电阻率的影响 | 第79-80页 |
| ·氧分压对IrO_2薄膜电阻率的影响 | 第80-81页 |
| ·衬底温度对IrO_2薄膜电阻率的影响 | 第81-82页 |
| ·激光输出能量对IrO_2薄膜电阻率的影响 | 第82-84页 |
| ·衬底与靶材距离对IrO_2薄膜电阻率的影响 | 第84-85页 |
| ·衬底类型对IrO_2薄膜电阻率的影响 | 第85-86页 |
| ·退火工艺对IrO_2薄膜电阻率的影响 | 第86-88页 |
| ·IrO_2薄膜的高温电阻率 | 第88-90页 |
| ·IrO_2薄膜的导电机理 | 第90-94页 |
| ·IrO_2薄膜的光学透过率 | 第94-98页 |
| ·厚度对IrO_2薄膜透过率的影响 | 第94-96页 |
| ·衬底温度对IrO_2薄膜透过率的影响 | 第96-97页 |
| ·退火温度对IrO_2薄膜透过率的影响 | 第97-98页 |
| ·小结 | 第98-99页 |
| 第5章 IrO_2薄膜的环境稳定性研究 | 第99-113页 |
| ·引言 | 第99-100页 |
| ·IrO_2薄膜在高温低氧环境下的稳定性 | 第100-105页 |
| ·IrO_2薄膜物相的变化 | 第100-103页 |
| ·热力学分析 | 第100-101页 |
| ·氧分压对IrO_2薄膜物相的影响 | 第101-102页 |
| ·温度对IrO_2薄膜物相的影响 | 第102-103页 |
| ·IrO_2薄膜微观结构的变化 | 第103-104页 |
| ·IrO_2薄膜电阻率的变化 | 第104-105页 |
| ·IrO_2薄膜在酸碱环境中的稳定性 | 第105-111页 |
| ·IrO_2薄膜物相的变化 | 第105-107页 |
| ·pH值对IrO_2薄膜物相的影响 | 第105-106页 |
| ·温度对IrO_2薄膜物相的影响 | 第106-107页 |
| ·IrO_2薄膜微观结构的变化 | 第107-110页 |
| ·IrO_2薄膜电阻率的变化 | 第110-111页 |
| ·小结 | 第111-113页 |
| 第6章 结论与展望 | 第113-115页 |
| ·结论 | 第113-114页 |
| ·展望 | 第114-115页 |
| 参考文献 | 第115-121页 |
| 攻读博士期间发表和待发表的学术论文目录 | 第121-122页 |
| 致谢 | 第122页 |