| 学位论文独创性声明 | 第1页 |
| 学位论文使用授权声明 | 第2-3页 |
| 中文摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 一、 引言 | 第9-16页 |
| ·膜基反射镜的研究意义 | 第9-12页 |
| ·膜基反射镜及其成形方法研究进展 | 第12-14页 |
| ·论文的研究目的及研究内容 | 第14-16页 |
| 二、膜基反射镜静电成形机理 | 第16-22页 |
| ·膜基反射镜静电成形理论模型及面形方程 | 第16-18页 |
| ·膜基反射镜面形方程求解 | 第18-20页 |
| ·均匀电压载荷下面形方程求解 | 第18-19页 |
| ·非均匀电压载荷下面形方程求解 | 第19-20页 |
| ·膜基反射镜面形的计算机模拟 | 第20-22页 |
| 三、膜基反射镜静电成形实验系统设计 | 第22-34页 |
| ·薄膜固定支撑结构 | 第22-24页 |
| ·电极板装置 | 第24-25页 |
| ·膜基反射镜电压控制系统 | 第25-34页 |
| ·基准偏压电压控制分系统 | 第25-26页 |
| ·可调偏压电压控制分系统 | 第26-34页 |
| 四、膜基反射镜静电成形实验 | 第34-46页 |
| ·薄膜材料的选择 | 第34-38页 |
| ·PET 和 Polyimide 薄膜材料特性比较 | 第34-35页 |
| ·PET 和 Polyimide 薄膜表面粗糙度和厚度均匀性的测试 | 第35-38页 |
| ·PET 薄膜真空镀铝后反射率的测试 | 第38页 |
| ·膜基反射镜面形测量结果及分析 | 第38-40页 |
| ·利用莫尔偏折术测量膜基反射镜曲率半径 | 第40-46页 |
| ·莫尔偏折术 | 第40-44页 |
| ·膜基反射镜曲率半径测量结果及分析 | 第44-46页 |
| 五、结论与展望 | 第46-48页 |
| 参考文献 | 第48-50页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第50页 |
| 攻读学位期间参加的会议 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
| 中文详细摘要 | 第52-54页 |