| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要(Abstract) | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-14页 |
| ·课题的研究意义 | 第7-8页 |
| ·国内外研究状况 | 第8-13页 |
| ·微位移驱动器及执行机构 | 第8-10页 |
| ·微位移驱动器的现状 | 第8-10页 |
| ·执行机构的发展现状 | 第10页 |
| ·弹性铰链导轨 | 第10-11页 |
| ·微位移传感器 | 第11-12页 |
| ·动力学建模 | 第12-13页 |
| ·主要研究内容 | 第13-14页 |
| 第二章 弹性铰链的特性研究 | 第14-32页 |
| ·引言 | 第14页 |
| ·弹性铰链的特性 | 第14页 |
| ·弹性铰链的计算 | 第14-19页 |
| ·椭圆弹性铰链 | 第17页 |
| ·正圆弹性铰链 | 第17-18页 |
| ·抛物线弹性铰链 | 第18页 |
| ·双曲线弹性铰链 | 第18-19页 |
| ·旋转精度的计算 | 第19-20页 |
| ·椭圆弹性铰链 | 第19页 |
| ·正圆弹性铰链 | 第19-20页 |
| ·抛物线弹性铰链 | 第20页 |
| ·双曲线弹性铰链 | 第20页 |
| ·数据分析 | 第20-29页 |
| ·有限元分析 | 第29页 |
| ·本章小结 | 第29-32页 |
| 第三章 微定位平台的设计与有限元分析 | 第32-40页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·总体结构设计 | 第32-33页 |
| ·样机开发 | 第33-34页 |
| ·ANSYS 软件介绍 | 第34-35页 |
| ·ANSYS 有限元建模 | 第35页 |
| ·有限元分析结果 | 第35-38页 |
| ·静态分析 | 第35-38页 |
| ·模态分析 | 第38页 |
| ·本章小结 | 第38-40页 |
| 第四章 运动学与动力学建模 | 第40-47页 |
| ·引言 | 第40页 |
| ·动平台位姿的描述 | 第40-41页 |
| ·欧拉角描述的正、逆解模型 | 第41-44页 |
| ·RPY 角描述的正、逆解模型 | 第44-45页 |
| ·微定位平台的动力学建模 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章 微定位平台的实验研究 | 第47-53页 |
| ·引言 | 第47页 |
| ·微定位平台静、动态特性的实验研究 | 第47-51页 |
| ·实验目的、装置和方法 | 第47-48页 |
| ·实验结果及分析 | 第48-51页 |
| ·本章小结 | 第51-53页 |
| 第六章 全文结论 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-57页 |
| 论文作者在攻读硕士学位期间参与的科研项目和完成的学术论文 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59页 |