基于DSP的图形发生器系统的曝光软件研究
| 第一章 电子束曝光技术背景 | 第1-16页 |
| ·微纳技术 | 第6-7页 |
| ·纳米加工及光刻 | 第7-10页 |
| ·电子束光刻技术的发展 | 第10-11页 |
| ·电子束曝光机结构组成 | 第11-14页 |
| ·电子束曝光机研究现状 | 第14-16页 |
| 第二章 课题背景和意义 | 第16-21页 |
| ·课题背景 | 第16-20页 |
| ·图形发生器介绍 | 第16-18页 |
| ·系统软件介绍 | 第18-20页 |
| ·课题意义 | 第20页 |
| ·课题任务 | 第20-21页 |
| 第三章 曝光机文件格式定义 | 第21-35页 |
| ·曝光存储格式定义 | 第21-27页 |
| ·格式定义意义 | 第21-22页 |
| ·格式定义内容 | 第22-27页 |
| ·曝光传输格式定义 | 第27-32页 |
| ·握手命令 | 第27-28页 |
| ·硬件控制 | 第28-29页 |
| ·区域扫描 | 第29-30页 |
| ·曝光命令 | 第30-32页 |
| ·曝光文件解读程序 | 第32-35页 |
| 第四章 曝光机的通讯端口 | 第35-58页 |
| ·设备硬件配置 | 第35-38页 |
| ·接口选择 | 第35-36页 |
| ·USB总线特点 | 第36-37页 |
| ·硬件结构 | 第37-38页 |
| ·设备软件配置 | 第38-58页 |
| ·系统驱动程序 | 第39-51页 |
| ·底层传输协议 | 第39-44页 |
| ·系统I／O请求 | 第44-48页 |
| ·Windows驱动的编写 | 第48-50页 |
| ·客户态程序 | 第50-51页 |
| ·固件程序 | 第51-58页 |
| ·固件编程思想 | 第51-52页 |
| ·数据通信 | 第52-54页 |
| ·程序模块 | 第54-58页 |
| 第五章 单元曝光程序 | 第58-71页 |
| ·曝光算法研究 | 第58-60页 |
| ·实验装置 | 第60-61页 |
| ·程序讨论 | 第61-65页 |
| ·实验验证 | 第65-71页 |
| ·正矩形 | 第65-66页 |
| ·梯形 | 第66-68页 |
| ·圆和椭圆 | 第68-70页 |
| ·斜矩形 | 第70-71页 |
| 第六章 课题总结 | 第71-74页 |
| ·课题研究进展 | 第71-72页 |
| ·课题讨论 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-76页 |
| 文章发表 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
