| 摘 要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 绪 论 | 第8-18页 |
| ·引 言 | 第8-9页 |
| ·二氧化钒的特性 | 第9-11页 |
| ·二氧化钒的应用 | 第11-13页 |
| ·二氧化钒的薄膜制备 | 第13-16页 |
| ·本文主要内容 | 第16-17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 2 反应溅射制备VO2薄膜 | 第18-29页 |
| ·反应溅射 | 第18-22页 |
| ·工艺流程 | 第22-23页 |
| ·清洗 | 第23-25页 |
| ·反应溅射二氧化钒薄膜 | 第25-26页 |
| ·热处理 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-29页 |
| 3 二氧化钒薄膜的测试 | 第29-46页 |
| ·电性能测试 | 第29-32页 |
| ·光性能测试 | 第32-38页 |
| ·改进的光性能测试实验 | 第38-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 4 二氧化钒薄膜的应用研究 | 第46-52页 |
| ·二氧化钒薄膜相变光开关 | 第46-49页 |
| ·二氧化钒薄膜的抗激光辐射应用研究 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 5 总 结 | 第52-54页 |
| 致 谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表论文目录 | 第58页 |