溶解氧传感器微电极的制作及测试
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| ·溶解氧的概述与检测意义 | 第10页 |
| ·溶解氧的检测原理与方法 | 第10-17页 |
| ·微电极 | 第17-19页 |
| ·基于 MEMS 技术下的微电极 | 第17-18页 |
| ·微阵列电极的优势 | 第18-19页 |
| ·多孔氧化铝技术 | 第19-22页 |
| ·多孔氧化铝及其形成机理 | 第19-21页 |
| ·多孔氧化铝模板的应用 | 第21-22页 |
| ·本课题研究思路 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第二章 微电极的设计与制作 | 第24-33页 |
| ·基于 Clark 型溶解氧微电极的制作 | 第24-29页 |
| ·微电极制作工艺 | 第24-27页 |
| ·微电极阳极的处理 | 第27-28页 |
| ·微电极阴极的处理 | 第28-29页 |
| ·制作工艺过程的讨论 | 第29-30页 |
| ·等离子体处理 | 第29-30页 |
| ·电极的封装 | 第30页 |
| ·本章小结 | 第30-33页 |
| 第三章 铂金微电极位点上纳米孔的制备 | 第33-43页 |
| ·多孔氧化铝的制备方法 | 第33-34页 |
| ·氧化电压的选择 | 第34-36页 |
| ·一次氧化与二次氧化的对比 | 第36-37页 |
| ·扩孔时间 | 第37-38页 |
| ·氧化时间的选择 | 第38-40页 |
| ·铂微电极的修饰 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 微电极的测试 | 第43-52页 |
| ·电化学阻抗测试 | 第43-44页 |
| ·循环伏安法测试 | 第44-46页 |
| ·Fe2+与 Fe3+的 CV 曲线 | 第44-45页 |
| ·溶解氧测试的 CV 曲线 | 第45-46页 |
| ·溶解氧传感器微电极的测试 | 第46-51页 |
| ·同一温度下的线性相关性 | 第47-48页 |
| ·溶解氧微电极的温度校准 | 第48-49页 |
| ·管道深度对溶解氧测试的影响 | 第49-50页 |
| ·盐度对微电极测试溶解氧的影响 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 总结与展望 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-62页 |
| 发表文章目录 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
