| 第一章 绪论 | 第1-47页 |
| §1．1 微机电系统发展概况 | 第13-18页 |
| 1．1．1 微机电系统特点 | 第13-16页 |
| 1．1．2 微机电系统应用举例 | 第16-18页 |
| §1．2 微驱动器材料 | 第18-32页 |
| 1．2．1 材料微型化途径 | 第19-22页 |
| 1．2．2 驱动器材料 | 第22-32页 |
| §1．3 TiNi形状记忆合金薄膜研究现状 | 第32-39页 |
| 1．3．1 TiNi形状记忆合金薄膜制备 | 第32-35页 |
| 1．3．2 形状记忆合金薄膜性能研究 | 第35-38页 |
| 1．3．3 选题的意义和内容 | 第38-39页 |
| 参考文献 | 第39-47页 |
| 第二章 TiNi非晶薄膜制备及晶化过程研究 | 第47-57页 |
| §2．1 引言 | 第47页 |
| §2．2 试样制备和实验方法 | 第47-48页 |
| §2．3 实验结果 | 第48-52页 |
| §2．4 讨论 | 第52-54页 |
| §2．5 本章小结 | 第54页 |
| 参考文献 | 第54-57页 |
| 第三章 热处理对TiNi薄膜相变行为的影响 | 第57-73页 |
| §3．1 引言 | 第57页 |
| §3．2 试样制备和实验方法 | 第57-58页 |
| §3．3 实验结果 | 第58-65页 |
| 3．3．1 Ti_（51）Ni_（49）薄膜相变行为 | 第58-61页 |
| 3．3．2 Ti_（49．4）Ni_（50．6）薄膜相变行为 | 第61-65页 |
| §3．4 讨论 | 第65-70页 |
| 3．4．1 TiNi合金薄膜／体材相变行为比较 | 第65-67页 |
| 3．4．2 热处理对Ti_（51）Ni_（49）薄膜相变行为的影响 | 第67-68页 |
| 3．4．3 热处理对Ti_（49．4）Ni_（50．6）薄膜相变行为的影响 | 第68-70页 |
| §3．5 本章小结 | 第70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 第四章 TiNi薄膜热循环稳定性研究 | 第73-88页 |
| §4．1 前言 | 第73-74页 |
| §4．2 试样制备和实验方法 | 第74页 |
| §4．3 实验结果 | 第74-81页 |
| 4．3．1 Ti_（49．4）Ni_（50．6）薄膜热循环稳定性 | 第74-78页 |
| 4．3．2 Ti_（51）Ni_（49）薄膜热循环稳定性 | 第78-81页 |
| §4．4 讨论 | 第81-85页 |
| 4．4．1 热循环对TiNi薄膜相变温度的影响 | 第82-84页 |
| 4．4．2 TiNi薄膜／体材热循环稳定性比较 | 第84-85页 |
| §4．5 本章小结 | 第85页 |
| 参考文献 | 第85-88页 |
| 第五章 预应变TiNi薄膜显微结构研究 | 第88-107页 |
| §5．1 引言 | 第88页 |
| §5．2 实验材料和方法 | 第88-89页 |
| §5．3 马氏体孪晶类型 | 第89-91页 |
| §5．4 实验结果和分析 | 第91-104页 |
| 5．4．1 TiNi薄膜应力-应变曲线及形状记忆效应 | 第91-94页 |
| 5．4．2 零应变马氏体显微结构 | 第94-97页 |
| 5．4．3 2．5％应变马氏体显微结构 | 第97-99页 |
| 5．4．4 4．0％应变马氏体显微结构 | 第99-101页 |
| 5．4．5 6．8％应变马氏体显微结构 | 第101-104页 |
| §5．5 本章小结 | 第104页 |
| 参考文献 | 第104-107页 |
| 第六章 预应变对TiNi薄膜相变行为的影响 | 第107-126页 |
| §6．1 引言 | 第107页 |
| §6．2 实验材料和方法 | 第107-108页 |
| §6．3 实验结果 | 第108-117页 |
| 6．3．1 预应变TiNi薄膜的相变行为 | 第108-113页 |
| 6．3．2 TiNi薄膜不完全相变行为 | 第113-117页 |
| 6．3．2．1 零应变TiNi薄膜不完全相变行为 | 第113-115页 |
| 6．3．2．2 预应变TiNi薄膜不完全相变行为 | 第115-117页 |
| §6．4 讨论 | 第117-124页 |
| 6．4．1 预应变对TiNi薄膜相变行为的影响 | 第117-120页 |
| 6．4．2 不完全相变对TiNi薄膜相变行为的影响 | 第120-124页 |
| 6．4．2．1 零应变TiNi薄膜 | 第120-122页 |
| 6．4．2．2 预应变TiNi薄膜 | 第122-124页 |
| §6．5 本章小结 | 第124页 |
| 参考文献 | 第124-126页 |
| 第七章 PbTiO_3/TiNi复合工艺研究 | 第126-138页 |
| §7．1 引言 | 第126-127页 |
| §7．2 试样制备及实验方法 | 第127页 |
| 7．2．1 Pb-Ti溶胶的制备 | 第127页 |
| 7．2．2 原位水热合成 | 第127页 |
| 7．2．3 sol-gel法合成 | 第127页 |
| §7．3 实验结果及分析 | 第127-136页 |
| 7．3．1 原位水热合成PbTiO_3陶瓷薄膜 | 第127-129页 |
| 7．3．2 sol-gel法合成PbTiO_3陶瓷薄膜 | 第129-131页 |
| 7．3．3 原位水热+sol-gel复合法合成PbTiO_3陶瓷薄膜 | 第131-136页 |
| §7．4 本章小结 | 第136页 |
| 参考文献 | 第136-138页 |
| 第八章 结论及展望 | 第138-140页 |
| 创新点摘要 | 第140-141页 |
| 攻读博士学位期间发表/待发表论文 | 第141-142页 |
| 致谢 | 第142页 |
