电激励连续波HF/DF化学激光器F原子流量检测
| 摘要 | 第1-9页 |
| ABSTRACT | 第9-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-15页 |
| ·课题研究背景 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状及发展趋势 | 第11-14页 |
| ·本文研究内容 | 第14-15页 |
| 第二章 滴定HF吸收法及相关理论 | 第15-22页 |
| ·滴定HF吸收法 | 第15-16页 |
| ·吸收系数相关理论 | 第16-21页 |
| ·基态HF分子吸收系数计算 | 第16-18页 |
| ·吸收系数与HF分子密度的关系 | 第18-20页 |
| ·吸收系数与温度的关系 | 第20-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第三章 F原子流量检测实验装置及设计 | 第22-39页 |
| ·电激励HF/DF化学激光器 | 第22-23页 |
| ·电激励选线HF化学激光器 | 第23-26页 |
| ·激光器原理及构造 | 第23-25页 |
| ·导引光引入方法 | 第25-26页 |
| ·流量控制系统 | 第26-31页 |
| ·浮子流量计 | 第27-28页 |
| ·质量流量控制器 | 第28-30页 |
| ·流量对比测量实验 | 第30-31页 |
| ·红外窗口设计 | 第31-33页 |
| ·红外探测器 | 第33-34页 |
| ·实验光路设计 | 第34-37页 |
| ·实验测量步骤 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章F原子流量检测实验结果及分析 | 第39-52页 |
| ·原始测量数据处理 | 第39-41页 |
| ·不同NF_3 流量时滴定曲线 | 第41-43页 |
| ·不同探测谱线时滴定曲线 | 第43-45页 |
| ·实验结果分析 | 第45-47页 |
| ·在线测量方案 | 第47-49页 |
| ·氢气过量现象探讨 | 第49-51页 |
| ·本章小节 | 第51-52页 |
| 第五章 全文总结 | 第52-55页 |
| ·本文完成的工作 | 第52-53页 |
| ·展望 | 第53-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第60页 |