MOCVD加热系统研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-19页 |
| ·MOCVD 概述 | 第8-11页 |
| ·MOCVD 加热系统 | 第11-15页 |
| ·MOCVD 国内外研究现状 | 第15-17页 |
| ·本文研究的目的和意义 | 第17-18页 |
| ·本文研究的主要内容和方法 | 第18-19页 |
| 2 红外辐射加热器 | 第19-36页 |
| ·红外辐射加热原理 | 第19-23页 |
| ·红外辐射加热特点及应用 | 第23-24页 |
| ·红外辐射加热器的模拟设计 | 第24-28页 |
| ·红外辐射加热器的安装要求 | 第28-29页 |
| ·高温加热器中各处电阻计算 | 第29-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 3 高频感应加热器 | 第36-49页 |
| ·感应加热原理 | 第36-39页 |
| ·感应加热特点及其应用 | 第39-40页 |
| ·高频感应加热器模拟设计 | 第40-46页 |
| ·高频感应加热器的安装要求 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 4 MOCVD 系统冷却设计 | 第49-61页 |
| ·冷却设计的CFD 技术基础 | 第49-54页 |
| ·石墨基座的冷却设计 | 第54-56页 |
| ·加热器腔体壁面的冷却设计 | 第56-58页 |
| ·反应废气的冷却设计 | 第58-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 5 总结及展望 | 第61-63页 |
| ·总结 | 第61页 |
| ·今后工作的建议及展望 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第66页 |
