| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-22页 |
| ·课题的研究背景及意义 | 第9-11页 |
| ·国内外引线键合精密定位系统的研究现状 | 第11-17页 |
| ·驱动方式 | 第11-13页 |
| ·运动机构形式 | 第13-15页 |
| ·动力学建模及系统动态设计 | 第15-17页 |
| ·国内外引线键合超声换能系统的研究现状 | 第17-20页 |
| ·引线键合超声换能器驱动材料的选择 | 第17-18页 |
| ·引线键合超声换能器的结构及能量传递特性 | 第18-20页 |
| ·引线键合超声换能系统电路的匹配与控制 | 第20页 |
| ·本文主要研究内容 | 第20-22页 |
| 第二章 引线键合精密定位平台的设计研究 | 第22-46页 |
| ·引言 | 第22页 |
| ·引线键合精密定位平台总体结构设计 | 第22-24页 |
| ·音圈电机的工作原理及选型 | 第24-27页 |
| ·键合头结构系统设计分析 | 第27-28页 |
| ·精密定位平台系统建模及设计分析 | 第28-39页 |
| ·基于虚拟样机技术的弹性解耦机构动态设计 | 第29-32页 |
| ·考虑铰链弹性时弹簧刚度及预紧力的设计匹配分析 | 第32-34页 |
| ·弹性铰链的结构设计及有限元分析 | 第34-39页 |
| ·精密定位平台控制系统的开发 | 第39-42页 |
| ·控制系统的组成 | 第39-41页 |
| ·基于LabView 的控制系统开发 | 第41-42页 |
| ·精密定位平台的工作状况仿真分析 | 第42-43页 |
| ·样机制作 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第三章 引线键合精密定位平台动力学建模及动态特性分析 | 第46-64页 |
| ·引言 | 第46页 |
| ·X 轴向平台系统建模 | 第46-49页 |
| ·X 轴向平台的位移响应 | 第48-49页 |
| ·Y 轴向平台系统建模 | 第49-54页 |
| ·Y 轴向平台的位移响应 | 第52-54页 |
| ·引线键合精密定位平台动态特性分析 | 第54-63页 |
| ·引线键合精密定位平台有限元模型的建立 | 第54-57页 |
| ·引线键合精密定位平台的模态分析 | 第57-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第四章 引线键合高频超声换能器设计 | 第64-85页 |
| ·引言 | 第64页 |
| ·高频超声换能器的设计理论及方法 | 第64-67页 |
| ·超声波振动现象分析 | 第64-66页 |
| ·高频超声换能器的设计理论及方法 | 第66-67页 |
| ·压电陶瓷材料及其纵振模式 | 第67-72页 |
| ·压电陶瓷材料及其重要参数 | 第67-70页 |
| ·压电陶瓷振子振动模式分析 | 第70-72页 |
| ·高频超声换能器系统的优化设计 | 第72-83页 |
| ·纵振换能器机电等效电路及其频率方程 | 第72-77页 |
| ·高频超声换能器设计 | 第77-78页 |
| ·高频超声换能器谐振特性分析 | 第78-82页 |
| ·高频超声换能器实验测试 | 第82-83页 |
| ·本章小结 | 第83-85页 |
| 第五章 引线键合高频超声换能器驱动电源设计 | 第85-102页 |
| ·引言 | 第85页 |
| ·高频超声换能器驱动电源组成及匹配分析 | 第85-93页 |
| ·高频超声换能器驱动电源匹配原理分析 | 第86-87页 |
| ·高频超声换能器驱动电源匹配电路设计 | 第87-90页 |
| ·高频超声换能器驱动电源其它电路设计 | 第90-93页 |
| ·基于CPLD 技术的锁相环电路设计 | 第93-99页 |
| ·锁相环电路原理分析 | 第93-94页 |
| ·基于CPLD 技术的频率跟踪电路设计 | 第94-99页 |
| ·高频超声换能器驱动电源的实验分析 | 第99-100页 |
| ·本章小结 | 第100-102页 |
| 第六章 引线键合精密定位平台实验研究与性能测试 | 第102-112页 |
| ·引言 | 第102页 |
| ·实验系统设计 | 第102-103页 |
| ·定位平台性能与模态实验系统组成 | 第102-103页 |
| ·高频超声换能系统振动传递特性实验系统组成 | 第103页 |
| ·引线键合精密定位平台性能试验 | 第103-105页 |
| ·引线键合精密定位平台模态试验 | 第105-109页 |
| ·引线键合高频超声换能系统振动传递特性试验 | 第109-111页 |
| ·本章小结 | 第111-112页 |
| 第七章 全文总结 | 第112-115页 |
| ·结论 | 第112-114页 |
| ·工作展望 | 第114-115页 |
| 参考文献 | 第115-124页 |
| 发表论文与参加科研情况说明 | 第124-125页 |
| 致谢 | 第125页 |