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铁电/氧化物异质结的集成及器件研究

摘要第1-7页
Abstract第7-11页
第1章 引言第11-19页
   ·研究背景第11-17页
     ·铁电体的发展第11-15页
     ·超导研究的发展第15-17页
   ·本论文的主要内容及其意义第17-19页
第2章 薄膜的制备及表征方法第19-28页
   ·薄膜制备方法选择及原理第19-23页
     ·溶胶-凝胶法第19-20页
     ·磁控溅射法第20页
     ·脉冲激光沉积法第20-23页
   ·薄膜表征方法的选择及原理第23-28页
     ·反射式高能电子衍射(RHEED)第23-24页
     ·X射线衍射分析第24-25页
     ·原子力显微镜(AFM)第25-26页
     ·铁电测试仪第26-28页
第3章 La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3沉积温度对PbZr_(0.53)Ti_(0.47)O_3结构与性能的影响研究第28-37页
   ·La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3底电极的制备及表征第28-31页
   ·LSCO/PZT/LSCO电容器的制备及性能研究第31-35页
   ·小结第35-37页
第4章 超导/铁电体/巨磁阻结构氧化物异质结的研究第37-52页
   ·单层薄膜的制备与研究第37-45页
     ·La_(1.89)Ce_(0.11)CuO_4薄膜的制备与研究第38-44页
     ·La_(0.67)Sr_(0.33)MnO_3薄膜的制备及表征第44-45页
   ·超导/铁电体/巨磁阻结构氧化物异质结的制备与研究第45-50页
     ·LSMO/BST/LCCO异质结的制备及表征第46-48页
     ·LSMO/BST/LCCO异质结电学性能研究第48-50页
   ·小结第50-52页
第5章 结束语第52-54页
参考文献第54-57页
攻读硕士期间发表的学术论文第57-58页
致谢第58页

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