Ti-Si-Al-N多元复合膜的制备工艺研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-19页 |
| ·课题背景 | 第8-9页 |
| ·国内外多元复合膜层的研究现状 | 第9-16页 |
| ·多元复合膜层制备设备研究现状 | 第10-14页 |
| ·TiSiN 膜层研究现状 | 第14-15页 |
| ·TiAlN 膜层研究现状 | 第15页 |
| ·TiAlSiN 膜层研究现状 | 第15-16页 |
| ·多元复合膜层的材料选择 | 第16-17页 |
| ·多元复合膜层的发展展望 | 第17-18页 |
| ·课题研究内容 | 第18-19页 |
| 第2章 实验材料、装置及方法 | 第19-28页 |
| ·实验材料及试样制备 | 第19-20页 |
| ·实验材料 | 第19页 |
| ·试样制备 | 第19-20页 |
| ·实验装置简介 | 第20-23页 |
| ·实验方法 | 第23-26页 |
| ·实验过程 | 第23-24页 |
| ·实验方案 | 第24-26页 |
| ·膜层性能表征 | 第26-27页 |
| ·X 射线衍射（XRD）分析 | 第26页 |
| ·光学显微镜及扫描电子显微镜（SEM）观察 | 第26页 |
| ·硬度测试 | 第26-27页 |
| ·膜基结合力测试 | 第27页 |
| ·摩擦磨损性能测试 | 第27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 多元阴极弧等离子体混合装置的等离子体测量 | 第28-38页 |
| ·直筒磁场对引出离子弧流离子密度的研究 | 第28-31页 |
| ·直筒磁场对引出离子弧流均匀性的研究 | 第31-36页 |
| ·本章小结 | 第36-38页 |
| 第4章 多元复合膜层的组织、成分分析 | 第38-44页 |
| ·薄膜的表面和截面形貌形貌分析 | 第38-39页 |
| ·多元复合膜层成分测试于分析 | 第39-42页 |
| ·能谱测试结果与分析 | 第39-40页 |
| ·XRD 测试结果及分析 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 第5章 多元复合膜层的机械性能研究 | 第44-59页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·显微硬度性能研究 | 第44-47页 |
| ·膜基结合力研究 | 第47-53页 |
| ·摩擦磨损性能研究 | 第53-57页 |
| ·Si 元素对多元复合膜层摩擦磨损性能的影响 | 第53-57页 |
| ·Al 元素对多元复合膜层摩擦磨损性能的影响 | 第57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
