液相电化学法制备类金刚石薄膜的研究
| 中文摘要 | 第3-5页 |
| 英文摘要 | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第9页 |
| 1.2 类金刚石薄膜概述 | 第9-17页 |
| 1.2.1 膜的结构与分类 | 第9-11页 |
| 1.2.2 膜的性质和应用 | 第11-13页 |
| 1.2.3 膜的制备方法 | 第13-14页 |
| 1.2.4 掺杂改性 | 第14-15页 |
| 1.2.5 膜的结构表征 | 第15-17页 |
| 1.3 液相电化学制备类金刚石薄膜的研究进展 | 第17-19页 |
| 1.3.1 高压制备法 | 第17页 |
| 1.3.2 低压制备法 | 第17-18页 |
| 1.3.3 薄膜的沉积机理 | 第18-19页 |
| 1.4 本文的研究目的及内容 | 第19-21页 |
| 1.4.1 本文的研究目的 | 第19-20页 |
| 1.4.2 本文的主要研究内容 | 第20-21页 |
| 2 实验方法 | 第21-25页 |
| 2.1 主要试剂和仪器 | 第21-22页 |
| 2.1.1 实验试剂 | 第21页 |
| 2.1.2 主要仪器 | 第21-22页 |
| 2.2 类金刚石薄膜的制备 | 第22页 |
| 2.2.1 实验装置 | 第22页 |
| 2.2.2 基底的预处理及薄膜的制备 | 第22页 |
| 2.3 类金刚石薄膜的表征方法 | 第22-25页 |
| 2.3.1 表面形貌的观测 | 第22-23页 |
| 2.3.2 组成与结构的测试 | 第23页 |
| 2.3.3 电化学测试 | 第23-25页 |
| 3 结果与讨论 | 第25-50页 |
| 3.1 电极间距对制备类金刚石薄膜的影响 | 第25-34页 |
| 3.1.1 制备过程中的电流-时间曲线 | 第25-26页 |
| 3.1.2 膜的表面形貌 | 第26-29页 |
| 3.1.3 膜的微观结构 | 第29-32页 |
| 3.1.4 膜的电化学特性 | 第32-34页 |
| 3.2 电解液含水量对制备类金刚石薄膜的影响 | 第34-40页 |
| 3.2.1 制备过程中的电流-时间曲线 | 第34-35页 |
| 3.2.2 膜的表面形貌 | 第35-37页 |
| 3.2.3 膜的微观结构 | 第37-39页 |
| 3.2.4 膜的耐腐蚀性能 | 第39-40页 |
| 3.3 类金刚石薄膜的N掺杂 | 第40-50页 |
| 3.3.1 制备过程中的电流-时间曲线 | 第40-41页 |
| 3.3.2 膜的表面形貌 | 第41-43页 |
| 3.3.3 膜的微观结构 | 第43-46页 |
| 3.3.4 膜的电化学特性 | 第46-50页 |
| 4 结论与展望 | 第50-52页 |
| 4.1 实验主要结论 | 第50-51页 |
| 4.2 展望 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-60页 |
| 附录 A.作者在攻读学位期间发表的论文目录 | 第60页 |
