| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 压电、铁电材料简介 | 第9-13页 |
| 1.1.1 压电、铁电材料的性能介绍 | 第9-11页 |
| 1.1.2 铁电材料的微观结构 | 第11-13页 |
| 1.1.3 压电、铁电材料的应用 | 第13页 |
| 1.2 压电响应力显微技术(PFM)简介 | 第13-16页 |
| 1.2.1 压电响应力显微技术(PFM)的基本原理和工作模式 | 第14-15页 |
| 1.2.2 压电响应力显微技术(PFM)的基本应用 | 第15-16页 |
| 1.3 基于PFM技术定量分析压电系数的困难与挑战 | 第16页 |
| 1.4 论文选题依据及主要研究内容 | 第16-19页 |
| 1.4.1 论文选题依据 | 第16-17页 |
| 1.4.2 论文主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 接触模式下导电探针与样品间的电弹性场分析 | 第19-43页 |
| 2.1 全耦合理论框架的建立 | 第19-26页 |
| 2.2 不同形状探针针尖与样品间的电弹性场 | 第26-42页 |
| 2.2.1 圆柱形(Punch)导电探针针尖与样品间的电弹性场 | 第26-32页 |
| 2.2.2 锥形(Cone)导电探针针尖与样品间的电弹性场 | 第32-37页 |
| 2.2.3 球形(Sphere)导电探针针尖与样品间的电弹性场 | 第37-42页 |
| 2.3 本章小结 | 第42-43页 |
| 第3章 基于PFM接触模式的纳米尺度压电系数定量分析 | 第43-52页 |
| 3.1 有效压电系数的定义 | 第43-46页 |
| 3.2 外加载荷对有效压电系数的影响 | 第46-47页 |
| 3.3 探针几何参数对有效压电系数的影响 | 第47-49页 |
| 3.4 极化取向对有效压电系数的影响 | 第49-51页 |
| 3.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 第4章 基于PFM非接触模式的压电系数的优化反演 | 第52-71页 |
| 4.1 非接触模式下全耦合理论 | 第52-54页 |
| 4.2 差分进化优化反演介绍 | 第54-56页 |
| 4.3 测试条件对优化函数的影响 | 第56-62页 |
| 4.4 压电系数的分步优化反演 | 第62-70页 |
| 4.4.1 基于位移优化函数反演压电系数 | 第62-66页 |
| 4.4.2 基于电势优化函数反演压电系数 | 第66-70页 |
| 4.5 本章小结 | 第70-71页 |
| 第5章 总结与展望 | 第71-74页 |
| 5.1 总结 | 第71-72页 |
| 5.2 展望 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第80页 |
