| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题研究的背景 | 第9页 |
| 1.2 类金刚石涂层的制备方法和机理 | 第9-13页 |
| 1.2.1 物理气相沉积法 | 第10-12页 |
| 1.2.2 化学气相沉积法 | 第12-13页 |
| 1.3 Ta-C涂层国内外研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3.1 Ta-C涂层国内研究现状 | 第13-14页 |
| 1.4 本课题研究意义和研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 Ta-C涂层的制备工艺与性能表征 | 第16-40页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 Ta-C涂层基体选择及制备方案 | 第16-17页 |
| 2.3 硬质合金基体的预处理工艺 | 第17-19页 |
| 2.4 Ta-C涂层沉积工艺 | 第19-22页 |
| 2.4.1 氩离子刻蚀方案 | 第20-21页 |
| 2.4.2 石墨靶不同溅射时间制备Ta-C涂层方案 | 第21-22页 |
| 2.5 涂层的性能表征 | 第22-28页 |
| 2.5.1 微观结构分析 | 第22页 |
| 2.5.2 厚度 | 第22-24页 |
| 2.5.3 硬度 | 第24页 |
| 2.5.4 结合强度 | 第24-28页 |
| 2.5.5 拉曼光谱 | 第28页 |
| 2.6 实验结果及讨论 | 第28-39页 |
| 2.6.1 氩离子刻蚀对Ta-C涂层性能的影响 | 第28-30页 |
| 2.6.2 石墨靶不同溅射时对Ta-C涂层的影响 | 第30-39页 |
| 2.7 本章小结 | 第39-40页 |
| 第3章 Ta-C涂层的摩擦学性能研究 | 第40-48页 |
| 3.1 引言 | 第40页 |
| 3.2 Ta-C涂层的磨损机理研究 | 第40-42页 |
| 3.3 Ta-C涂层的摩擦过程研究 | 第42-46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-48页 |
| 第4章 Ta-C涂层的应用 | 第48-59页 |
| 4.1 引言 | 第48页 |
| 4.2 Ta-C涂层刀具制备 | 第48-49页 |
| 4.3 实验材料 | 第49页 |
| 4.4 加工方式 | 第49-50页 |
| 4.5 表面粗糙度测试 | 第50-51页 |
| 4.6 Ta-C涂层切削实验结果及讨论 | 第51-53页 |
| 4.6.1 刀具寿命 | 第51-52页 |
| 4.6.2 工件表面粗糙度 | 第52-53页 |
| 4.7 与氢化类金刚石涂层刀具对比切削 | 第53-58页 |
| 4.7.1 涂层制备 | 第53-54页 |
| 4.7.2 实验结果及讨论 | 第54-58页 |
| 4.8 本章小结 | 第58-59页 |
| 第5章 结论与研究展望 | 第59-61页 |
| 5.1 结论 | 第59-60页 |
| 5.2 研究展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 攻读学位期间所参加的科研项目和发表的学术论文 | 第67-68页 |