ZnO超长微米线制备及其在压电应力传感器方面的应用
摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-10页 |
引言 | 第10-12页 |
1 绪论 | 第12-27页 |
·ZnO的基本性质 | 第12-13页 |
·ZnO纳米结构的典型形貌 | 第13-15页 |
·一维或者准一维ZnO纳米结构 | 第14-15页 |
·多维ZnO纳米结构 | 第15页 |
·一维ZnO纳米材料的特性及应用 | 第15-25页 |
·力学特性 | 第15-16页 |
·场发射特性 | 第16-17页 |
·光学特性 | 第17-19页 |
·传感特性 | 第19-21页 |
·压电特性 | 第21-25页 |
·本论文主要研究内容 | 第25-27页 |
2 ZnO超长微米线制备及表征 | 第27-38页 |
·ZnO纳米结构的制备方法综述 | 第27-30页 |
·气-固-液(VLS)生长方法 | 第27-28页 |
·气-固(VS)生长方法 | 第28-29页 |
·液相法 | 第29页 |
·模板法 | 第29-30页 |
·ZnO超长微米线的生长 | 第30-33页 |
·实验装置 | 第31页 |
·实验准备 | 第31-32页 |
·第一次生长——催化层生长 | 第32页 |
·第二次生长——ZnO超长微米线生长 | 第32-33页 |
·表征和分析 | 第33-37页 |
·形貌表征 | 第33-35页 |
·机理分析 | 第35-37页 |
·本章小结 | 第37-38页 |
3 ZnO接触特性研究 | 第38-45页 |
·引言 | 第38页 |
·金属/ZnO微米线接触研究 | 第38-40页 |
·样品制备 | 第38-39页 |
·Ⅰ-Ⅴ特性表征 | 第39-40页 |
·银浆与ZnO微米线接触研究 | 第40-44页 |
·样品制备 | 第40页 |
·Ⅰ-Ⅴ特性表征 | 第40-41页 |
·退火作用对接触特性影响 | 第41-44页 |
·本章小结 | 第44-45页 |
4 压力传感器制备与测试 | 第45-53页 |
·引言 | 第45页 |
·器件制备 | 第45-46页 |
·实验准备 | 第45页 |
·制备过程 | 第45-46页 |
·Ⅰ-Ⅴ测试与分析 | 第46-48页 |
·测试系统简介 | 第46页 |
·Ⅰ-Ⅴ测试与分析 | 第46-48页 |
·器件受力分析 | 第48-52页 |
·器件受力 | 第48-49页 |
·Ⅰ-Ⅴ特性受力弯曲 | 第49-50页 |
·肖特基势垒改变量 | 第50-52页 |
·器件敏感度 | 第52页 |
·本章小结 | 第52-53页 |
5 压电应力传感器的分离与应用 | 第53-58页 |
·引言 | 第53页 |
·传感器分离 | 第53-55页 |
·分离方法 | 第53页 |
·机理分析 | 第53-55页 |
·分离传感器件应用 | 第55-56页 |
·其他应用 | 第56-57页 |
·机电开关 | 第56页 |
·光敏器件 | 第56-57页 |
·本章小结 | 第57-58页 |
结论 | 第58-59页 |
参考文献 | 第59-65页 |
附录A ZnO材料的基本物理性质参数表 | 第65-66页 |
攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第66-67页 |
致谢 | 第67-69页 |