铬基金属与氮化物纳米多层薄膜调制结构研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
1 绪论	第9-15页
·纳米多层薄膜	第9-12页
·纳米多层薄膜特性	第9-10页
·纳米多层薄膜调制结构	第10-11页
·纳米多层薄膜制备	第11-12页
·Fe/Cr纳米多层薄膜	第12-13页
·CrN/AlN纳米多层薄膜	第13-14页
·本文研究目的及研究内容	第14-15页
2 纳米多层薄膜制备及分析方法	第15-23页
·纳米多层薄膜制备	第15-19页
·磁控溅射装置	第15-17页
·工艺流程	第17-18页
·工艺参数	第18-19页
·分析方法	第19-23页
·Rutherford背散射分析方法	第19-21页
·X射线衍射分析方法	第21页
·透射电子显微镜分析方法	第21-23页
3 Fe/Cr纳米多层薄膜调制结构	第23-37页
·调制周期	第23-25页
·相结构	第25-26页
·微结构	第26-35页
·横截面形貌和选区电子衍射	第26-32页
·高分辨电子显微分析	第32-35页
·讨论	第35-37页
·调制周期对界面结构的影响	第35页
·调制周期对择优取向的影响	第35-37页
4 CrN/AlN纳米多层薄膜调制结构	第37-46页
·调制周期	第37页
·相结构	第37-39页
·微结构	第39-43页
·横截面形貌和选区电子衍射	第39-42页
·高分辨电子显微分析	第42-43页
·讨论	第43-46页
·调制周期对晶体结构的影响	第43-44页
·调制周期对界面结构的影响	第44-46页
结论	第46-47页
参考文献	第47-51页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第51-52页
致谢	第52-54页