首页--工业技术论文--金属学与金属工艺论文--金属切削加工及机床论文--磨削加工与磨床论文--一般性问题论文--磨削加工工艺论文

高端塑料模具钢S136表面CMP精细加工工艺研究

摘要第5-6页
Abstract第6-7页
第1章 绪论第11-24页
    1.1 选题背景第11-13页
    1.2 塑料模具钢简介第13-15页
        1.2.1 塑料模具钢基本要求第13-14页
        1.2.2 塑料模具钢分类及应用第14-15页
    1.3 S136钢简介第15页
    1.4 抛光在模具钢中的作用第15-16页
    1.5 塑料模具钢抛光现状第16-18页
        1.5.1 电化学抛光第16页
        1.5.2 超声波抛光第16-17页
        1.5.3 超声电解复合抛光第17页
        1.5.4 磁流变抛光第17-18页
    1.6 化学机械抛光方法的提出第18-22页
        1.6.1 CMP基本原理第18-19页
        1.6.2 CMP抛光机第19-20页
        1.6.3 CMP抛光垫第20-21页
        1.6.4 CMP抛光液第21-22页
    1.7 本论文研究意义、目的和内容第22-24页
第2章 实验内容及方法第24-32页
    2.1 试样的制取第24页
    2.2 本实验整体实验方案第24-26页
    2.3 抛光液的配制第26-27页
        2.3.1 酸性抛光液体系第26-27页
        2.3.2 碱性抛光液体系第27页
    2.4 抛光性能的表征指标第27-28页
        2.4.1 表面粗糙度第27-28页
        2.4.2 材料去除速率(MRR)第28页
    2.5 数据分析方法与检测手段第28-31页
        2.5.1 最小二乘法确定最优直线第29-30页
        2.5.2 正交实验方案设计第30-31页
        2.5.3 X射线衍射分析(XRD)第31页
        2.5.4 扫描电子显微镜分析(SEM)第31页
        2.5.5 原子力显微镜分析(AFM)第31页
    2.6 本章小结第31-32页
第3章 S-136钢CMP工艺参数试验探究第32-53页
    3.1 引言第32页
    3.2 酸性抛光液体系对CMP的影响第32-34页
    3.3 碱性抛光液体系对CMP的影响第34-36页
    3.4 单因素变量参数分析第36-42页
        3.4.1 转速对CMP抛光性能的影响第36-39页
        3.4.2 压力对CMP抛光性能的影响第39-41页
        3.4.3 磨料粒子种类对CMP性能的影响第41-42页
    3.5 正交实验的参数整体优化第42-47页
        3.5.1 实验方案设计与实验结果第43-45页
        3.5.2 实验结果分析第45-47页
    3.6 最佳工艺参数实验验证分析第47-52页
        3.6.1 表面粗糙度和材料去除速率分析第47页
        3.6.2 X射线衍射分析(XRD)第47-48页
        3.6.3 扫描电子显微镜分析(SEM)第48-50页
        3.6.4 原子力显微镜分析(AFM)第50-52页
    3.7 本章小结第52-53页
第4章 材料去除机制与化学反应机理第53-64页
    4.1 CMP材料去除机制分析第54-56页
        4.1.1 基于接触力学理论的CMP材料去除机制内容和模型建立第54-55页
        4.1.2 基于流体动力学理论的CMP材料去除机制内容和模型建立第55-56页
    4.2 S136钢CMP抛光化学反应机理第56-59页
        4.2.1 S136钢动力学过程分析第56-57页
        4.2.2 S136钢化学反应过程分析第57-59页
    4.3 抛光缺陷分析第59-63页
        4.3.1 S136钢表面孔洞形成分析第59-63页
        4.3.2 S136钢CMP表面划痕分析第63页
    4.4 本章小结第63-64页
第5章 全文结论与后续研究工作第64-67页
    5.1 全文结论第64-65页
    5.2 后续研究工作说明第65-67页
参考文献第67-71页
致谢第71-72页
攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果第72-73页
作者简介第73页

论文共73页,点击 下载论文
上一篇:L921A钢在海水中的缓蚀剂及其机理研究
下一篇:快凝Al-5Ti-1B中间合金的微观组织和细化效果研究