基于相变材料GeSbTe的微结构制备及其光学性质研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-22页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.2 相变材料GST研究现状 | 第10-21页 |
| 1.2.1 相变机制及物相结构研究 | 第10-13页 |
| 1.2.2 在光学信息存储方面的应用 | 第13-15页 |
| 1.2.3 激光诱导GST结晶 | 第15-18页 |
| 1.2.4 GST在微结构调控中的应用 | 第18-21页 |
| 1.3 本论文主要研究内容 | 第21-22页 |
| 第2章 GST薄膜的制备与性质表征 | 第22-30页 |
| 2.1 引言 | 第22页 |
| 2.2 射频磁控溅射制备GST薄膜 | 第22-24页 |
| 2.3 GST薄膜加热结晶及XRD表征 | 第24-26页 |
| 2.4 非晶态和晶态GST薄膜的光学性质测量 | 第26-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 激光加热GST结晶过程分析 | 第30-38页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 激光诱导GST结晶 | 第30-33页 |
| 3.2.1 激光诱导GST结晶的实验研究 | 第30-32页 |
| 3.2.2 激光直写系统介绍 | 第32-33页 |
| 3.3 激光加热薄膜的数值模拟 | 第33-37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 GST微结构的制备及其光学性质研究 | 第38-49页 |
| 4.1 引言 | 第38页 |
| 4.2 GST光栅结构的制备及其衍射特性 | 第38-45页 |
| 4.2.1 GST光栅制备及AFM表征 | 第38-41页 |
| 4.2.2 GST光栅衍射理论分析 | 第41-43页 |
| 4.2.3 GST光栅衍射实验结果 | 第43-45页 |
| 4.3 GST波带片结构的制备及其聚焦特性 | 第45-48页 |
| 4.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 结论 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-55页 |
| 致谢 | 第55页 |
