| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 引言 | 第7-13页 |
| 1.1 光纤光栅简介 | 第7页 |
| 1.2 光栅传感技术 | 第7-9页 |
| 1.3 电镀及电镀应力 | 第9-12页 |
| 1.3.1 电镀简介 | 第9-10页 |
| 1.3.2 电镀工艺 | 第10-11页 |
| 1.3.3 电镀应力 | 第11-12页 |
| 1.4 本文研究内容 | 第12-13页 |
| 2.光纤布拉格光栅传感器原理 | 第13-18页 |
| 2.1 光纤布拉格光栅结构 | 第13-14页 |
| 2.2 光纤布拉格光栅传感原理 | 第14-17页 |
| 2.2.1 光纤布拉格光栅传感机制 | 第14-16页 |
| 2.2.2 光纤布拉格光栅温度和应变交叉敏感 | 第16-17页 |
| 2.3 光纤光栅传感器性能指标 | 第17-18页 |
| 3 光纤布拉格光栅应变传感模型 | 第18-23页 |
| 3.1 引言 | 第18-19页 |
| 3.2 均匀轴向应力作用下光纤布拉格光栅传感模型 | 第19-21页 |
| 3.3 均匀横向应力作用下光纤布拉格光栅传感模型 | 第21-22页 |
| 3.4 任意正应力作用下光纤布拉格光栅传感模型 | 第22-23页 |
| 4 电镀内应力测试方法 | 第23-30页 |
| 4.1 引言 | 第23页 |
| 4.2 机械释放测量法 | 第23-26页 |
| 4.2.1 盲孔法 | 第23-24页 |
| 4.2.2 压痕法 | 第24页 |
| 4.2.3 悬臂梁法 | 第24-25页 |
| 4.2.4 移层法 | 第25-26页 |
| 4.3 无损测量法 | 第26-29页 |
| 4.3.1 中子衍射法 | 第26-27页 |
| 4.3.2 X射线衍射法 | 第27页 |
| 4.3.3 基于拉曼光谱的微结构应力测试法 | 第27-29页 |
| 4.4 本章结论 | 第29-30页 |
| 5 基于光纤布拉格光栅传感器实时监测电镀应力的实验研究 | 第30-41页 |
| 5.1 引言 | 第30页 |
| 5.2 FBG表面金属化处理 | 第30-32页 |
| 5.3 电镀装置及工艺 | 第32-34页 |
| 5.3.1 实验结果 | 第33-34页 |
| 5.4 结果分析 | 第34-39页 |
| 5.5 本章结论 | 第39-41页 |
| 6 结论 | 第41-42页 |
| 参考文献 | 第42-47页 |
| 致谢 | 第47-48页 |
| 在读期间公开发表论文（著）及科研情况 | 第48页 |