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基于光纤布拉格光栅的电镀镍应力在线监测

摘要第3-4页
Abstract第4页
1 引言第7-13页
    1.1 光纤光栅简介第7页
    1.2 光栅传感技术第7-9页
    1.3 电镀及电镀应力第9-12页
        1.3.1 电镀简介第9-10页
        1.3.2 电镀工艺第10-11页
        1.3.3 电镀应力第11-12页
    1.4 本文研究内容第12-13页
2.光纤布拉格光栅传感器原理第13-18页
    2.1 光纤布拉格光栅结构第13-14页
    2.2 光纤布拉格光栅传感原理第14-17页
        2.2.1 光纤布拉格光栅传感机制第14-16页
        2.2.2 光纤布拉格光栅温度和应变交叉敏感第16-17页
    2.3 光纤光栅传感器性能指标第17-18页
3 光纤布拉格光栅应变传感模型第18-23页
    3.1 引言第18-19页
    3.2 均匀轴向应力作用下光纤布拉格光栅传感模型第19-21页
    3.3 均匀横向应力作用下光纤布拉格光栅传感模型第21-22页
    3.4 任意正应力作用下光纤布拉格光栅传感模型第22-23页
4 电镀内应力测试方法第23-30页
    4.1 引言第23页
    4.2 机械释放测量法第23-26页
        4.2.1 盲孔法第23-24页
        4.2.2 压痕法第24页
        4.2.3 悬臂梁法第24-25页
        4.2.4 移层法第25-26页
    4.3 无损测量法第26-29页
        4.3.1 中子衍射法第26-27页
        4.3.2 X射线衍射法第27页
        4.3.3 基于拉曼光谱的微结构应力测试法第27-29页
    4.4 本章结论第29-30页
5 基于光纤布拉格光栅传感器实时监测电镀应力的实验研究第30-41页
    5.1 引言第30页
    5.2 FBG表面金属化处理第30-32页
    5.3 电镀装置及工艺第32-34页
        5.3.1 实验结果第33-34页
    5.4 结果分析第34-39页
    5.5 本章结论第39-41页
6 结论第41-42页
参考文献第42-47页
致谢第47-48页
在读期间公开发表论文(著)及科研情况第48页

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