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ZnOM(M=S,Se)及Cu,S共掺p型w-Zn1-yCuyO1-xSx合金薄膜的制备和表征

提要第1-7页
第1章 绪论第7-19页
   ·ZnO 的基本性质第8-10页
   ·ZnO 材料的研究进展及存在的科学问题第10-14页
     ·ZnO 材料中的本征缺陷第10-11页
     ·ZnO p 型掺杂的研究进展第11-14页
   ·MgZnO 和CdZnO 能带工程第14页
   ·ZnOM (M=S, Se, Te 等)能带工程第14-17页
   ·ZnO 和ZnO 基合金p 型制备中存在的问题第17-19页
第2章 薄膜的制备技术及表征手段第19-28页
   ·磁控溅射技术第19-20页
   ·真空和气氛退火设备第20-21页
   ·ZnO 及ZnO 基合金薄膜的表征手段第21-28页
     ·X-射线衍射(XRD)第21-22页
     ·透射电子显微镜(TEM)第22-23页
     ·扫描电子显微镜(SEM)和X 射线能量谱仪(EDS)第23页
     ·透射-吸收光谱第23-24页
     ·霍尔效应(Hall effect)测量第24-25页
     ·X 射线光电子能谱(XPS)第25-26页
     ·光致发光光谱(PL)第26-28页
第3章 Zn-O-Se 非晶合金薄膜的制备和表征第28-37页
   ·样品制备第29页
   ·Zn-O-Se 合金的结构表征第29-31页
   ·非晶态Zn-O-Se 合金薄膜的成份第31-32页
   ·非晶态Zn-O-Se 合金的XPS 图谱第32-33页
   ·非晶态Zn-O-Se 合金的光学性质第33-36页
   ·本章小结第36-37页
第4章 ZnO_(1-x)S_x合金薄膜的制备和表征第37-46页
   ·样品制备第37页
   ·ZnO_(1-x)S_x 合金薄膜的晶体结构第37-41页
   ·ZnO_(1-x)S_x 合金薄膜的光学性质第41-44页
   ·ZnO_(1-x)S_x 合金薄膜的电学性质第44-45页
   ·本章小结第45-46页
第5章 Cu 掺杂的p 型ZnO_(1-x)S_x合金薄膜的制备和机制的研究第46-60页
   ·样品制备第46页
   ·Cu 掺杂p 型ZnO_(1-x)S_x 合金薄膜的结构表征第46-48页
   ·Cu 在ZnO 和ZnO_(1-x)S_x 合金中固溶度和光学带隙的差别第48-50页
   ·p 型Cu 掺杂w-Zn_(1-y)Cu_yO_(1-x)S_x 合金的电学性质第50-53页
   ·Cu 和S 共掺的w-Zn_(1-y)Cu_yO_(1-x)S_x 合金薄膜的p 型来源第53-57页
     ·Cu 和S 共掺的p 型w-Zn_(1-y)Cu_yO_(1-x)S_x 合金的变温Hall测量第53-55页
     ·Cu 和S 共掺的w-Zn_(1-y)Cu_yO_(1-x)S_x 合金薄膜的SEM 形貌第55-57页
   ·Cu 和S 共掺的w-Zn_(1-y)Cu_yO_(1-x)S_x 合金的XPS 分析第57-59页
   ·本章小结第59-60页
第6章 结论与展望第60-62页
参考文献第62-70页
硕士期间发表的论文第70-71页
致谢第71-72页
中文摘要第72-75页
Abstract第75-78页

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