| 摘要 | 第1-13页 |
| Abstract | 第13-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-32页 |
| ·自适应光学技术 | 第15-21页 |
| ·自适应光学技术的发展与应用 | 第15-20页 |
| ·我国自适应光学系统研究现状 | 第20-21页 |
| ·微机电系统技术 | 第21-26页 |
| ·微机电系统技术的发展 | 第21-22页 |
| ·微机电系统技术在我国的发展状况 | 第22-23页 |
| ·微光机电系统技术 | 第23-26页 |
| ·微机电变形镜技术的发展及研究现状 | 第26-28页 |
| ·国外微机电变形镜技术的发展及研究现状 | 第26-27页 |
| ·国内微机电变形镜技术的研究现状 | 第27-28页 |
| ·本文的研究目的和主要内容 | 第28-32页 |
| ·研究目的 | 第28-30页 |
| ·主要内容 | 第30-32页 |
| 第二章 微小型变形镜 | 第32-52页 |
| ·双压电片变形镜 | 第32-37页 |
| ·双压电片变形镜的工作原理 | 第33-34页 |
| ·双压电片变形镜的设计与仿真 | 第34-37页 |
| ·双压电片变形镜的特点 | 第37页 |
| ·薄膜变形镜 | 第37-41页 |
| ·薄膜变形镜的工作原理 | 第38-39页 |
| ·薄膜变形镜的仿真 | 第39-41页 |
| ·薄膜变形镜的特点 | 第41页 |
| ·液晶变形镜 | 第41-43页 |
| ·液晶变形镜的工作原理 | 第41-43页 |
| ·液晶变形镜的特性 | 第43页 |
| ·MEMS 变形镜 | 第43-51页 |
| ·MEMS 变形镜的分类 | 第43-45页 |
| ·几种商用MEMS 变形镜的技术与性能分析 | 第45-49页 |
| ·MEMS 变形镜与其他几种变形镜的比较 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第三章 MEMS 变形镜的加工技术研究 | 第52-73页 |
| ·硅微加工技术 | 第52-63页 |
| ·微加工技术介绍 | 第52-56页 |
| ·硅微加工技术分类 | 第56-57页 |
| ·微加工技术研究方法 | 第57-58页 |
| ·两种商用表面硅微加工标准工艺分析 | 第58-63页 |
| ·基于PolyMUMPs 工艺的MEMS 变形镜的设计构想 | 第63-72页 |
| ·MEMS 变形镜的设计要求 | 第63-66页 |
| ·PolyMUMPs 工艺对变形镜设计的限制 | 第66-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 第四章 基于PolyMUMPs 工艺的MEMS 变形镜的理论分析与优化设计 | 第73-112页 |
| ·MEMS 变形镜的结构设计 | 第73-79页 |
| ·微镜单元镜面形状和排布方式 | 第73-75页 |
| ·大冲程微镜驱动器的设计 | 第75-79页 |
| ·悬臂梁式MEMS 变形镜的理论研究与优化设计 | 第79-100页 |
| ·悬臂梁式微反射镜的结构设计 | 第79-95页 |
| ·悬臂梁式微反射镜的静态性能仿真 | 第95-99页 |
| ·悬臂梁式微反射镜及其构成阵列的设计版图 | 第99-100页 |
| ·杠杆式MEMS 变形镜的理论研究与优化设计 | 第100-110页 |
| ·杠杆式微反射镜的结构设计 | 第100-107页 |
| ·杠杆式微镜的静态性能仿真 | 第107-109页 |
| ·杠杆式微反射镜及其构成阵列的设计版图 | 第109-110页 |
| ·本章小结 | 第110-112页 |
| 第五章 MEMS 微镜的测试与分析 | 第112-133页 |
| ·微镜阵列的驱动电路 | 第112-114页 |
| ·测试仪器与方法 | 第114-117页 |
| ·悬臂梁式MEMS 变形镜的测试结果 | 第117-127页 |
| ·悬臂梁式微镜的表面形貌测试 | 第117-118页 |
| ·悬臂梁式微镜的提升高度 | 第118-121页 |
| ·悬臂梁式微镜的时间响应 | 第121-122页 |
| ·悬臂梁式微镜的电压位移曲线 | 第122-124页 |
| ·悬臂梁式微镜阵列中各单元的一致性 | 第124-125页 |
| ·悬臂梁式微镜电压电流曲线 | 第125-126页 |
| ·悬臂梁式微镜的频率响应 | 第126-127页 |
| ·杠杆式MEMS 变形镜的测试结果 | 第127-132页 |
| ·杠杆式微镜的表面形貌测试 | 第127-128页 |
| ·杠杆式微镜的电压位移曲线 | 第128-130页 |
| ·杠杆式微镜的时间响应 | 第130页 |
| ·杠杆式微镜的电压电流曲线 | 第130-131页 |
| ·杠杆式微镜的频率响应 | 第131-132页 |
| ·本章小结 | 第132-133页 |
| 第六章 结论与展望 | 第133-136页 |
| ·总结 | 第133-135页 |
| ·本论文的主要工作及结论 | 第133-134页 |
| ·本论文的创新点 | 第134-135页 |
| ·展望 | 第135-136页 |
| 致谢 | 第136-137页 |
| 参考文献 | 第137-149页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第149页 |