| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-23页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第9-16页 |
| 1.1.1 超声传感技术概述 | 第9-11页 |
| 1.1.2 光纤超声传感器的种类、原理及特点 | 第11-14页 |
| 1.1.3 飞秒激光微加工的原理、特点及优势 | 第14-15页 |
| 1.1.4 本论文研究的目的和意义 | 第15-16页 |
| 1.2 光纤干涉腔的超声传感研究进展及分析 | 第16-21页 |
| 1.3 本论文的主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第2章 光纤干涉腔的超声传感理论基础 | 第23-44页 |
| 2.1 超声波声场理论 | 第23-29页 |
| 2.1.1 超声波声源种类及波动特性 | 第23-24页 |
| 2.1.2 超声场的特征参数 | 第24-28页 |
| 2.1.3 超声波在介质中的传播衰减 | 第28-29页 |
| 2.2 光纤干涉腔内干涉光场理论模拟 | 第29-37页 |
| 2.2.1 光纤干涉腔内双光束干涉谱模拟 | 第29-31页 |
| 2.2.2 光纤干涉腔腔长变化与峰移的关系模拟 | 第31-32页 |
| 2.2.3 光纤法干涉腔腔长变化与峰距变化的关系模拟 | 第32-37页 |
| 2.3 超声波对光纤干涉腔腔长的调制理论 | 第37-40页 |
| 2.3.1 超声波与界面作用原理 | 第37-38页 |
| 2.3.2 超声波对光纤干涉腔腔长调制的原理 | 第38-40页 |
| 2.4 光纤干涉腔声压灵敏度研究 | 第40-43页 |
| 2.4.1 腔长变化对灵敏度的影响 | 第40-42页 |
| 2.4.2 干涉腔反射谱的对比度对灵敏度的影响 | 第42-43页 |
| 2.5 本章小结 | 第43-44页 |
| 第3章 光纤干涉腔传感结构的实验制备 | 第44-60页 |
| 3.1 光纤末端矩形凹槽的飞秒激光制备 | 第44-48页 |
| 3.1.1 飞秒激光刻蚀光纤机理 | 第44-45页 |
| 3.1.2 光纤末端矩形凹槽的飞秒激光制备 | 第45-48页 |
| 3.2 光纤干涉腔的熔接制备 | 第48-54页 |
| 3.2.1 光纤干涉腔的熔接放电制备 | 第48-50页 |
| 3.2.2 光纤干涉腔的反射谱 | 第50-53页 |
| 3.2.3 熔接参数对光纤干涉腔性能的影响 | 第53-54页 |
| 3.3 飞秒激光制备光纤干涉腔传感结构端部 | 第54-55页 |
| 3.4 光纤干涉腔传感结构的液体折射率与温度影响 | 第55-59页 |
| 3.4.1 液体折射率对光纤干涉腔反射谱的影响 | 第55-57页 |
| 3.4.2 水温及气温对光纤干涉腔反射谱的影响 | 第57-59页 |
| 3.5 本章小结 | 第59-60页 |
| 第4章 光纤干涉腔的超声传感特性测试和分析 | 第60-71页 |
| 4.1 超声传感测试及结果分析 | 第60-63页 |
| 4.2 光纤干涉腔的增敏及分析 | 第63-70页 |
| 4.2.1 优化光纤干涉腔腔长增敏方法 | 第63-67页 |
| 4.2.2 提高光纤干涉腔反射谱对比度增敏方法 | 第67-70页 |
| 4.3 本章小结 | 第70-71页 |
| 结论与展望 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其他成果 | 第76-78页 |
| 致谢 | 第78页 |