基于有机铁电介质的容变存储器关键技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-14页 |
| ·铁电存储器的原理 | 第7页 |
| ·有机铁电存储器的特点及其应用 | 第7-8页 |
| ·有机铁电存储器的研究现状 | 第8-10页 |
| ·PVDF介绍 | 第10-11页 |
| ·MOS结构介绍 | 第11-12页 |
| ·本文内容安排 | 第12-14页 |
| 第二章 制备和测试方法及流程的确定 | 第14-24页 |
| ·制备流程的初探 | 第14-16页 |
| ·测试方式和流程的初探 | 第16-19页 |
| ·尝试性的样品制备和测试 | 第19-23页 |
| ·样品的制备 | 第19-20页 |
| ·样品的测试 | 第20-22页 |
| ·测试探针的重新选择和修正 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 制备和测试参数对测试结果的影响 | 第24-42页 |
| ·实验设计和思路 | 第24-28页 |
| ·测试阶段的实验设计和思路 | 第24-26页 |
| ·制备阶段的实验设计和思路 | 第26-28页 |
| ·实验和结果 | 第28-41页 |
| ·测试参数对结果的影响 | 第28-32页 |
| ·制备参数对结果的影响 | 第32-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 质量和可靠性分析 | 第42-51页 |
| ·测试和表征手段 | 第42-43页 |
| ·原子力显微镜(AFM)表面形貌表征 | 第42页 |
| ·X射线衍射技术表征物相结构 | 第42页 |
| ·全电压范围电容电压特性测试 | 第42页 |
| ·保持时间 | 第42-43页 |
| ·老化疲劳测试 | 第43页 |
| ·AFM原子力显微镜表面形貌表征 | 第43-44页 |
| ·X射线衍射(XRD)表征PVDF薄膜的物相结构 | 第44-45页 |
| ·全电压范围电容电压特性(C-V)测试 | 第45-47页 |
| ·保持时间测试 | 第47-48页 |
| ·老化疲劳测试 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 第五章 总结和讨论 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
