| 摘要 | 第3-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 引言 | 第11-13页 |
| 1.2 纳米薄膜材料 | 第13-15页 |
| 1.2.1 纳米薄膜材料的简介 | 第13-14页 |
| 1.2.2 纳米薄膜材料的性质 | 第14-15页 |
| 1.2.3 纳米薄膜材料的应用发展 | 第15页 |
| 1.3 纳米薄膜材料力学性能表征 | 第15-17页 |
| 1.3.1 纳米薄膜材料力学性能表征的意义 | 第15-16页 |
| 1.3.2 纳米薄膜材料力学性能表征的发展现状 | 第16页 |
| 1.3.3 纳米薄膜材料力学性能表征存在的问题 | 第16-17页 |
| 1.4 本课题研究的主要内容 | 第17-19页 |
| 第二章 实验仪器 | 第19-29页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 实验仪器介绍 | 第19-27页 |
| 2.2.1 Quanta250扫描电子显微镜 | 第19-21页 |
| 2.2.2 布鲁克原子力显微镜 | 第21-23页 |
| 2.2.3 SEM-SPM联合测试系统 | 第23-24页 |
| 2.2.4 白光干涉仪 | 第24-25页 |
| 2.2.5 磁控溅射仪 | 第25-27页 |
| 2.3 本章小结 | 第27-29页 |
| 第三章 实验测试方法 | 第29-41页 |
| 3.1 纳米压痕技术 | 第29-30页 |
| 3.2 实验计算方法 | 第30-38页 |
| 3.2.1 Herz接触理论 | 第31-32页 |
| 3.2.2 O-P计算方法 | 第32-33页 |
| 3.2.3 Sneddon计算方法 | 第33-34页 |
| 3.2.4 DMT模型 | 第34-36页 |
| 3.2.5 JKR模型 | 第36-37页 |
| 3.2.6 King修正模型 | 第37-38页 |
| 3.3 本章小结 | 第38-41页 |
| 第四章 超薄纳米银薄膜在高真空和大气环境下力学表征 | 第41-51页 |
| 4.1 引言 | 第41-42页 |
| 4.2 超薄银纳米薄膜的制备 | 第42-43页 |
| 4.3 银薄膜结构表征 | 第43-44页 |
| 4.4 超薄银纳米薄膜的力学性能表征 | 第44-49页 |
| 4.4.1 超薄银纳米薄膜的压痕实验过程 | 第44-45页 |
| 4.4.2 超薄银纳米薄膜的弹性模量测试结果 | 第45-47页 |
| 4.4.3 水汽对银薄膜弹性模量影响的机理分析 | 第47-49页 |
| 4.5 本章小结 | 第49-51页 |
| 第五章 表面粗糙度对超薄纳米银薄膜力学性能的影响 | 第51-63页 |
| 5.1 引言 | 第51-52页 |
| 5.2 实验步骤 | 第52-55页 |
| 5.2.1 超薄纳米银薄膜的制备 | 第52-53页 |
| 5.2.2 膜厚测量 | 第53-54页 |
| 5.2.3 表面粗糙度统计 | 第54-55页 |
| 5.3 超薄银纳米薄膜的力学性能表征 | 第55-59页 |
| 5.3.1 超薄银纳米薄膜的压痕实验过程 | 第55-56页 |
| 5.3.2 超薄银纳米薄膜力学性能分析(Bruker-AFM) | 第56-59页 |
| 5.4 超薄银纳米薄膜的力学性能分析(SEM-SPM和Bruker-AFM) | 第59-61页 |
| 5.5 本章小结 | 第61-63页 |
| 第六章 结论与展望 | 第63-65页 |
| 6.1 全文总结 | 第63-64页 |
| 6.2 展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-71页 |
| 致谢 | 第71-73页 |
| 攻读硕士期间所发表的学术论文 | 第73页 |
