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InP/GaAs外延生长与GaAsP/Si双结太阳能电池设计

摘要第5-7页
ABSTRACT第7-9页
第一章 绪论第12-28页
    1.1 研究背景第12-14页
    1.2 InP/GaAs异变外延研究现状第14-18页
    1.3 太阳能电池的研究进展第18-22页
        1.3.1 太阳能电池的发展历史第18-19页
        1.3.2 GaAsP太阳能电池的发展第19-22页
    1.4 论文结构安排第22页
    参考文献第22-28页
第二章 外延材料的制备及表征第28-36页
    2.1 金属有机化学气相沉积第28-30页
    2.2 外延层质量表征技术第30-33页
        2.2.1 扫描电子显微镜第30-32页
        2.2.2 双晶X射线衍射仪第32页
        2.2.3 原子力显微镜第32-33页
    2.3 本章小结第33-34页
    参考文献第34-36页
第三章 太阳能电池理论与设计第36-50页
    3.1 太阳能电池基本知识第36-42页
        3.1.1 太阳能电池的工作原理第36-39页
        3.1.2 太阳能电池的基本特性参数第39-41页
        3.1.3 太阳辐射光谱第41-42页
    3.2 太阳能电池的模拟和设计第42-46页
        3.2.1 AMPS软件介绍第42-43页
        3.2.2 AMPS软件的算法及使用第43-46页
    3.3 本章小结第46页
    参考文献第46-50页
第四章 InP/GaAs侧向异变外延生长研究第50-70页
    4.1 纳米图形衬底结构的设计第50-52页
    4.2 纳米图形衬底的制备技术第52-56页
        4.2.1 掩膜沉积第52-53页
        4.2.2 光刻第53-54页
        4.2.3 刻蚀第54-56页
    4.3 纳米图形衬底的表面处理第56-58页
        4.3.1 窗口区域的SiO_2第56页
        4.3.2 残留光刻胶的去除第56-57页
        4.3.3 空气中尘埃的去除第57-58页
    4.4 InP/GaAs侧向异变外延生长第58-65页
        4.4.1 生长方案的设计与优化第58-60页
        4.4.2 1.8μm InP外延层的生长第60-64页
        4.4.3 500nm InP外延层的生长第64-65页
    4.5 本章小结第65-66页
    参考文献第66-70页
第五章 GaAsP/Si太阳能电池设计与仿真第70-80页
    5.1 晶体Si太阳电池仿真计算第70-73页
    5.2 GaAsP/Si双结太阳能电池仿真计算第73-78页
        5.2.1 模型建立第73-74页
        5.2.2 理论计算方法第74-76页
        5.2.3 结果与讨论第76-78页
    5.3 本章小结第78页
    参考文献第78-80页
第六章 总结和展望第80-82页
    6.1 总结第80页
    6.2 展望第80-82页
致谢第82-84页
攻读硕士学位期间发表的学术论文第84页

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