摘要 | 第5-6页 |
ABSTRACT | 第6-7页 |
第1章 绪论 | 第10-16页 |
1.1 引言 | 第10-12页 |
1.2 国内外研究现状 | 第12-15页 |
1.2.1 薄膜/基底界面分层破坏研究进展 | 第12-13页 |
1.2.2 硬质薄膜断裂问题研究进展 | 第13-14页 |
1.2.3 目前研究存在的一些问题 | 第14-15页 |
1.3 本文的研究主要内容及意义 | 第15-16页 |
第2章 基本理论模型及模型可行性验证 | 第16-27页 |
2.1 引言 | 第16页 |
2.2 压入过程的有限元模型 | 第16-18页 |
2.3 内聚力模型以及内聚力单元UEL子程序 | 第18-25页 |
2.3.1 内聚力模型 | 第18-21页 |
2.3.2 含内聚力模型的变形体的变分形式及有限元求解 | 第21页 |
2.3.3 内聚力单元UEL子程序 | 第21-25页 |
2.4 数值模拟可行性验证 | 第25-26页 |
2.5 小结 | 第26-27页 |
第3章 压头诱导的硬质薄膜/韧性基底界面分层的破坏机制 | 第27-39页 |
3.1 引言 | 第27页 |
3.2 理想结合界面 | 第27-29页 |
3.3 各因素对界面分层破坏失效机制影响 | 第29-37页 |
3.3.1 界面残余应力对临界压入深度及载荷影响 | 第31-35页 |
3.3.2 薄膜厚度对临界压入深度及载荷影响 | 第35-37页 |
3.5 小结 | 第37-39页 |
第4章 压头诱导的硬质薄膜破坏机制 | 第39-49页 |
4.1 引言 | 第39页 |
4.2 几何模型及参数 | 第39-40页 |
4.3 理想薄膜材料 | 第40-43页 |
4.4 各因素对薄膜本身破坏失效机制影响 | 第43-48页 |
4.4.1 薄膜残余应力对临界压入深度及载荷影响 | 第44-46页 |
4.4.2 薄膜厚度对临界压入深度及载荷影响 | 第46-48页 |
4.5 小结 | 第48-49页 |
第5章 压头诱导硬质薄膜/韧性基底体系破坏机制 | 第49-64页 |
5.1 引言 | 第49-50页 |
5.2 几何模型及参数 | 第50页 |
5.3 各因数对体系破坏失效机制影响 | 第50-61页 |
5.3.1 界面法向内聚能对薄膜/基底体系破坏失效机制的影响 | 第50-55页 |
5.3.2 薄膜厚度对薄膜/基底体系破坏失效机制的影响 | 第55-57页 |
5.3.3 残余应力对薄膜/基底体系破坏失效机制的影响 | 第57-61页 |
5.4 实验数据结果对比 | 第61-62页 |
5.5 小结 | 第62-64页 |
第6章 总结与展望 | 第64-66页 |
6.1 总结 | 第64-65页 |
6.2 展望 | 第65-66页 |
参考文献 | 第66-70页 |
致谢 | 第70-71页 |
攻读学位期间参加的科研项目和成果 | 第71页 |