| 摘要 | 第6-9页 |
| ABSTRACT | 第9-12页 |
| 第一章 绪论 | 第13-38页 |
| 1.1 引言 | 第13-14页 |
| 1.2 铁电薄膜材料概述 | 第14-17页 |
| 1.2.1 铁电材料的基本特性 | 第14-16页 |
| 1.2.2 铁电薄膜的性能与应用 | 第16-17页 |
| 1.3 铁电薄膜制备方法概述 | 第17-22页 |
| 1.3.1 溶胶-凝胶法(Sol-Gel) | 第18-19页 |
| 1.3.2 磁控溅射法(Magnetron sputtering) | 第19-21页 |
| 1.3.3 脉冲激光沉积法(Pulse laser deposition) | 第21-22页 |
| 1.4 铁电存储器概述 | 第22-29页 |
| 1.4.1 铁电存储器介绍 | 第23-25页 |
| 1.4.2 铁电存储器的基本结构 | 第25-27页 |
| 1.4.3 新型铁电存储器研究进展 | 第27-29页 |
| 1.5 本文的研究重点及主要内容 | 第29-30页 |
| 参考文献 | 第30-38页 |
| 第二章 锆钛酸铅(PZT)铁电薄膜溶胶-凝胶法(SOL-GEL)制备及性能分析 | 第38-58页 |
| 2.1 引言 | 第38-39页 |
| 2.2 PZT铁电薄膜溶胶-凝胶法制备 | 第39-41页 |
| 2.2.1 PZT先体溶胶配制 | 第39-40页 |
| 2.2.2 衬底电极 | 第40-41页 |
| 2.2.3 PZT铁电薄膜制备 | 第41页 |
| 2.3 金属/铁电薄膜/金属(MFM)电容器结构制备 | 第41-42页 |
| 2.4 PZT铁电薄膜性能分析 | 第42-53页 |
| 2.4.1 PZT铁电薄膜晶体结构性能分析 | 第42-44页 |
| 2.4.2 PZT铁电薄膜电学性能分析 | 第44-53页 |
| 2.5 小结 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
| 第三章 铁电薄膜界面钝化层特性研究 | 第58-73页 |
| 3.1 引言 | 第58-60页 |
| 3.2 脉冲电压测试法 | 第60-62页 |
| 3.3 PZT铁电薄膜界面钝化层特性研究 | 第62-69页 |
| 3.3.1 基于传统电滞回线测试法研究界面钝化层特性 | 第63-64页 |
| 3.3.2 基于脉冲电压测试法研究界面钝化层特性 | 第64-69页 |
| 3.3.3 铁电薄膜界面钝化层特性研究不足 | 第69页 |
| 3.4 小结 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-73页 |
| 第四章 铁电栅介质/掺铝氧化锌薄膜晶体管研究 | 第73-87页 |
| 4.1 引言 | 第73-75页 |
| 4.2 掺铝氧化锌(AZO)薄膜制备 | 第75-77页 |
| 4.2.1 氧化锌(ZnO)的基本性质 | 第75-76页 |
| 4.2.2 掺铝氧化锌(AZO)薄膜制备及性能分析 | 第76-77页 |
| 4.3 铁电栅介质/掺铝氧化锌薄膜晶体管(FEFET)制备 | 第77-79页 |
| 4.4 铁电栅介质/掺铝氧化锌薄膜晶体管(FEFET)性能测试及分析 | 第79-83页 |
| 4.4.1 晶体结构性能测试及分析 | 第79页 |
| 4.4.2 电学性能测试及分析 | 第79-83页 |
| 4.5 小结 | 第83-84页 |
| 参考文献 | 第84-87页 |
| 第五章 铁酸铋(BFO)铁电薄膜脉冲激光沉积法(PLD)制备及性能分析 | 第87-105页 |
| 5.1 引言 | 第87-89页 |
| 5.2 原子力显微镜AFM简介 | 第89-90页 |
| 5.3 BFO/SRO/STO结构制备 | 第90-91页 |
| 5.4 SRO导电薄膜脉冲激光沉积法(PLD)制备及性能分析 | 第91-93页 |
| 5.5 BFO铁电薄膜脉冲激光沉积法(PLD)制备及性能分析 | 第93-98页 |
| 5.5.1 基于STO衬底不同制备参数的BFO铁电薄膜性能分析 | 第93-96页 |
| 5.5.2 基于SRO/STO导电衬底制备BFO铁电薄膜性能分析 | 第96-98页 |
| 5.6 BFO铁电薄膜电畴及匹配应力效应研究 | 第98-100页 |
| 5.7 小结 | 第100-101页 |
| 参考文献 | 第101-105页 |
| 第六章 BFO铁电二极管阻变存储研究 | 第105-118页 |
| 6.1 引言 | 第105-106页 |
| 6.2 AU/BFO/SRO/STO电容器结构制备 | 第106-107页 |
| 6.3 BFO铁电二极管阻变存储器件电学性能分析 | 第107-111页 |
| 6.3.1 BFO铁电薄膜电滞回线测试及分析 | 第107-108页 |
| 6.3.2 BFO铁电二极管特性测试及分析 | 第108-110页 |
| 6.3.3 BFO铁电二极管阻变存储器保持特性测试及分析 | 第110-111页 |
| 6.4 BFO铁电二极管电流的导电机制研究 | 第111-113页 |
| 6.5 小结 | 第113-115页 |
| 参考文献 | 第115-118页 |
| 第七章 总结 | 第118-121页 |
| 致谢 | 第121-122页 |
| 攻读博士期间发表的论文专利情况 | 第122-124页 |
