微阵列型复杂表面的复合测量系统与方法研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 微纳米测量技术发展现状 | 第10-11页 |
| 1.2 原子力显微镜及其发展现状 | 第11-16页 |
| 1.2.1 大范围计量型原子力显微镜 | 第12-15页 |
| 1.2.2 AFM与其他测量方式结合 | 第15-16页 |
| 1.3 课题的意义与论文主要工作 | 第16-17页 |
| 第2章 测量系统工作原理 | 第17-25页 |
| 2.1 动态AFM的工作原理 | 第17-20页 |
| 2.1.1 动态AFM的幅值调制模式 | 第17-19页 |
| 2.1.2 动态AFM的频率调制模式 | 第19-20页 |
| 2.2 白光干涉信号分析方法 | 第20-23页 |
| 2.2.3 白光垂直扫描干涉测量 | 第21-22页 |
| 2.2.4 相干峰感知算法 | 第22-23页 |
| 2.3 本章小结 | 第23-25页 |
| 第3章 复合测量系统优化 | 第25-38页 |
| 3.1 复合测量系统架构 | 第25-36页 |
| 3.1.1 白光干涉模块硬件组成 | 第27-29页 |
| 3.1.2 AFM测头及PI反馈控制模块 | 第29-32页 |
| 3.1.3 复合测量系统运动模块 | 第32-34页 |
| 3.1.4 复合测量系统软件组成 | 第34-36页 |
| 3.2 复合测量基本思路 | 第36-37页 |
| 3.3 本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 图像拼接与单元结构顶点坐标提取 | 第38-48页 |
| 4.1 无重叠图像拼接原理 | 第38-41页 |
| 4.2 调平平面拟合方法 | 第41-44页 |
| 4.3 微阵列结构单元结构定点坐标提取 | 第44-47页 |
| 4.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 第5章 系统验证与实验分析 | 第48-71页 |
| 5.1 原子力显微镜系统的测量实验 | 第48-53页 |
| 5.1.1 测头传感器标定与自动进针 | 第49-50页 |
| 5.1.2 一维栅格测量 | 第50-53页 |
| 5.2 白光垂直扫描干涉测量验证 | 第53-54页 |
| 5.3 微阵列结构复合测量验证实验 | 第54-70页 |
| 5.3.1 CCD旋转调节 | 第55-57页 |
| 5.3.2 旋转机构重复性实验 | 第57-58页 |
| 5.3.3 微阵列结构白光干涉测量 | 第58-66页 |
| 5.3.4 原子力显微镜线扫描与坐标统一 | 第66-70页 |
| 5.4 本章小结 | 第70-71页 |
| 第6章 总结与展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
