咪唑啉磷酸酯类缓蚀剂的制备及其缓蚀性能研究
摘要 | 第1-7页 |
Abstract | 第7-12页 |
1 文献综述 | 第12-24页 |
·缓蚀剂概述 | 第12-14页 |
·缓蚀剂的定义和特点 | 第12页 |
·缓蚀剂的分类 | 第12-13页 |
·缓蚀剂缓蚀性能的研究方法 | 第13-14页 |
·咪唑啉酸性缓蚀剂 | 第14-16页 |
·咪唑啉季铵盐缓蚀剂的合成 | 第16-18页 |
·咪唑啉中间体的合成 | 第16-17页 |
·咪唑啉季铵盐的合成 | 第17-18页 |
·咪唑啉类缓蚀剂的缓蚀机理模型 | 第18-22页 |
·电化学方法对咪唑啉类缓蚀剂缓蚀机理的研究 | 第18-19页 |
·量子化学方法对咪唑啉类缓蚀剂缓蚀机理的研究 | 第19-20页 |
·缓蚀剂吸附行为 | 第20-22页 |
·本课题研究目标、意义及主要研究内容 | 第22-24页 |
·研究目标和意义 | 第22-23页 |
·主要研究内容 | 第23-24页 |
2 咪唑啉磷酸酯盐的合成 | 第24-34页 |
·实验仪器及药品 | 第24-25页 |
·实验仪器 | 第24页 |
·实验药品 | 第24-25页 |
·烷基咪唑啉的合成 | 第25-29页 |
·合成路线 | 第25页 |
·合成步骤 | 第25页 |
·烷基咪唑啉的结构表征 | 第25-27页 |
·最优合成条件的确定 | 第27-29页 |
·2-羟基-3-氯丙磷酸酯钠的合成 | 第29-30页 |
·合成路线 | 第29页 |
·合成步骤 | 第29-30页 |
·咪唑啉磷酸酯季铵盐的合成 | 第30-33页 |
·合成路线 | 第30页 |
·合成步骤 | 第30页 |
·结构表征 | 第30-31页 |
·烷基咪唑啉磷酸酯盐最优合成条件的确定 | 第31-33页 |
·本章小结 | 第33-34页 |
3 咪唑啉磷酸酯盐缓蚀性能及机理研究 | 第34-56页 |
·实验试剂及仪器装置 | 第34-35页 |
·实验试剂 | 第34页 |
·实验装置及仪器设备 | 第34-35页 |
·实验方法 | 第35-37页 |
·失重法 | 第35-36页 |
·电化学方法 | 第36-37页 |
·量子化学计算法 | 第37页 |
·实验结果与讨论 | 第37-54页 |
·失重实验结果与讨论 | 第37-39页 |
·电化学实验结果与讨论 | 第39-47页 |
·吸附行为研究 | 第47-48页 |
·量子化学计算结果与分析 | 第48-54页 |
·本章小结 | 第54-56页 |
4 复合缓蚀剂缓蚀性能及机理研究 | 第56-68页 |
·实验试剂及仪器装置 | 第56页 |
·实验方法 | 第56页 |
·失重法 | 第56页 |
·电化学方法 | 第56页 |
·表面分析方法 | 第56页 |
·实验结果与讨论 | 第56-67页 |
·失重结果与讨论 | 第56-59页 |
·电化学实验结果与讨论 | 第59-66页 |
·表面分析结果与讨论 | 第66-67页 |
·本章小结 | 第67-68页 |
5 结论 | 第68-70页 |
·结论 | 第68-69页 |
·未来工作研究方向 | 第69-70页 |
参考文献 | 第70-75页 |
致谢 | 第75-76页 |
个人简历 | 第76页 |
发表的学术论文 | 第76页 |