| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪言 | 第7-9页 |
| ·石墨烯的发现 | 第7页 |
| ·石墨烯的特殊电学性质 | 第7-9页 |
| 第二章 氢气刻蚀碳化硅 | 第9-19页 |
| ·碳化硅的结构 | 第9-10页 |
| ·氢气刻蚀原理 | 第10页 |
| ·实验过程 | 第10-13页 |
| ·射频感应加热炉系统 | 第11-13页 |
| ·SiC刻蚀形貌 | 第13-18页 |
| ·原子力显微镜原理 | 第13-15页 |
| ·刻蚀形貌及生长原理 | 第15-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 第三章 不同条件下石墨烯的生长情况 | 第19-26页 |
| ·研究状况 | 第19-20页 |
| ·不同极性面的石墨烯生长情况 | 第20-25页 |
| ·硅面石墨烯生长情况 | 第20-23页 |
| ·碳面石墨烯生长情况 | 第23-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第四章 热解碳化硅生长石墨烯 | 第26-36页 |
| ·实验方法 | 第26-27页 |
| ·碳面石墨烯的形貌表征 | 第27-35页 |
| ·碳面石墨烯的光学形貌 | 第27-28页 |
| ·碳面石墨烯的Raman光谱 | 第28-31页 |
| ·碳面石墨烯的原子形貌 | 第31-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 参考文献 | 第36-40页 |
| 致谢 | 第40-41页 |