铝合金表面磁控溅射Ti/TiN/TiCN复合薄膜工艺的研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 引言 | 第11-21页 |
| 1.1 选题背景及研究意义 | 第11-12页 |
| 1.2 概述 | 第12-17页 |
| 1.2.1 真空镀膜技术 | 第12-14页 |
| 1.2.2 镀膜前处理技术 | 第14-17页 |
| 1.3 研究现状 | 第17-18页 |
| 1.3.1 真空镀膜的研究现状 | 第17页 |
| 1.3.2 CMP技术研究现状 | 第17-18页 |
| 1.4 尚待深入研究的内容 | 第18页 |
| 1.5 研究内容及目标 | 第18-21页 |
| 1.5.1 研究内容 | 第18-20页 |
| 1.5.2 研究目标 | 第20-21页 |
| 第二章 实验设备及研究方法 | 第21-31页 |
| 2.1 实验设备 | 第21-22页 |
| 2.1.1 真空镀膜机 | 第21页 |
| 2.1.2 研磨抛光机 | 第21-22页 |
| 2.2 测量仪器及方法 | 第22-26页 |
| 2.2.1 台式分光光度仪 | 第22页 |
| 2.2.2 铅笔硬度计 | 第22-23页 |
| 2.2.3 膜厚测试仪 | 第23页 |
| 2.2.4 薄膜附着力测试 | 第23-24页 |
| 2.2.5 盐雾测试机 | 第24-25页 |
| 2.2.6 纸带摩擦测试仪 | 第25页 |
| 2.2.7 其它 | 第25-26页 |
| 2.3 加工工艺和实验方案的研究 | 第26-31页 |
| 2.3.1 镜面抛光工艺的研究 | 第26-27页 |
| 2.3.2 镀制仿金色薄膜工艺的研究 | 第27-28页 |
| 2.3.3 改善薄膜硬度工艺的研究 | 第28-31页 |
| 第三章 镀膜前处理工艺的研究 | 第31-43页 |
| 3.1 镀膜前处理工艺的研究意义 | 第31页 |
| 3.2 铝合金粗抛工艺研究 | 第31-37页 |
| 3.2.1 铝合金粗抛工艺实验方案的设计 | 第32-33页 |
| 3.2.2 工艺参数对样品表面粗糙度的影响 | 第33-35页 |
| 3.2.3 工艺参数对材料去除率的影响 | 第35-36页 |
| 3.2.4 最优工艺参数的确定 | 第36-37页 |
| 3.3 铝合金精抛工艺研究 | 第37-42页 |
| 3.3.1 精抛实验方案制定 | 第37页 |
| 3.3.2 压力对表面质量的影响 | 第37-39页 |
| 3.3.3 pH值对表面质量的影响 | 第39-40页 |
| 3.3.4 转速对表面质量的影响 | 第40-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 制备仿金色薄膜工艺的研究 | 第43-51页 |
| 4.1 颜色模型介绍 | 第43-44页 |
| 4.2 TIN和TICN仿金色薄膜镀制试验的研究 | 第44-45页 |
| 4.3 实验结果分析 | 第45-50页 |
| 4.3.1 工艺参数对TiN薄膜颜色值的影响 | 第45-48页 |
| 4.3.2 工艺参数对TiCN薄膜颜色值的影响 | 第48-50页 |
| 4.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 改善薄膜硬度工艺的研究 | 第51-59页 |
| 5.1 工艺实验方案的制定 | 第51-53页 |
| 5.2 薄膜硬度影响因素的分析 | 第53-57页 |
| 5.2.1 基材硬度对薄膜硬度的影响 | 第53-54页 |
| 5.2.2 基材硬化处理对薄膜硬度的影响 | 第54-56页 |
| 5.2.3 沉积时间对薄膜硬度的影响 | 第56-57页 |
| 5.3 本章小结 | 第57-59页 |
| 第六章 装饰性复合薄膜工艺的研究 | 第59-69页 |
| 6.1 复合薄膜的设计 | 第59-60页 |
| 6.2 复合薄膜制备的实验方案 | 第60-62页 |
| 6.3 复合薄膜性能测试及结果分析 | 第62-67页 |
| 6.3.1 薄膜硬度的测试与分析 | 第62-63页 |
| 6.3.2 薄膜附着力的测试与分析 | 第63-64页 |
| 6.3.3 薄膜耐磨性能的测试与分析 | 第64-66页 |
| 6.3.4 薄膜耐腐蚀性能的测试与分析 | 第66-67页 |
| 6.4 本章小结 | 第67-69页 |
| 第七章 结论与创新 | 第69-73页 |
| 7.1 结论 | 第69页 |
| 7.2 创新 | 第69-70页 |
| 7.3 展望 | 第70-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 攻读硕士学位期间取得的相关成果 | 第78页 |
