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基于SEM/SPM联合测试系统纳米材料原位力学性能研究

摘要第3-5页
ABSTRACT第5-7页
第一章 绪论第10-24页
    1.1 纳米科技与纳米材料的研究和应用第10-12页
        1.1.1 纳米科技概念的提出和发展第10页
        1.1.2 纳米科技的研究领域第10页
        1.1.3 纳米材料的种类第10-11页
        1.1.4 纳米材料的效应第11页
        1.1.5 纳米材料的应用第11-12页
    1.2 纳米材料力学性能研究第12-22页
        1.2.1 纳米材料力学性能研究意义第12-13页
        1.2.2 纳米材料力学性能测试方法第13-14页
        1.2.3 纳米材料力学性能的研究现状第14-21页
        1.2.4 纳米材料力学性能研究存在的问题第21-22页
    1.3 论文主要研究内容第22-24页
第二章 实验仪器与实验方法第24-32页
    2.1 引言第24页
    2.2 实验仪器第24-26页
        2.2.1 扫描电子显微镜 (SEM)第24-25页
        2.2.2 扫描电子显微镜聚焦离子束双束系统(SEM/FIB)第25页
        2.2.3 透射电子显微镜(TEM)第25-26页
    2.3 实验装置和实验方法第26-32页
        2.3.1 SEM/SPM 联合测试系统第26-28页
        2.3.2 AFM 探针第28页
        2.3.3 实验方法第28-32页
第三章 多晶 TiO_2纳米/微米球颗粒力学性能原位表征第32-46页
    3.1 前言第32-35页
    3.2 TiO_2纳米/微米球的表征第35-37页
    3.3 单个 TiO_2纳米/微米球的压痕第37-44页
        3.3.1 单个 TiO_2纳米/微米球的压痕实验过程第37-38页
        3.3.2 纳米/微米球压痕实验有限元仿真第38-40页
        3.3.3 纳米/微米球压痕实验的力学性能计算方法及改进第40-42页
        3.3.4 TiO_2纳米/微米球纳米压痕实验得到的力学性能第42-43页
        3.3.5 TiO_2力学性能分析、探讨第43-44页
    3.4 本章小结第44-46页
第四章 单根 Si_3N_4纳米线力学性能原位表征分析第46-64页
    4.1 引言第46-51页
    4.2 Si_3N_4纳米线的表征第51-53页
    4.3 单根 Si_3N_4纳米线的拉伸第53-58页
        4.3.1 单根 Si_3N_4纳米线的拉伸过程第53-55页
        4.3.2 单根 Si_3N_4纳米线拉伸实验得到的力学性能第55-58页
    4.4 单根 Si_3N_4纳米线的三点弯曲第58-61页
        4.4.1 单根 Si_3N_4纳米线的三点弯曲过程第58-59页
        4.4.2 单根 Si_3N_4纳米线三点弯曲实验得到的力学性能第59-61页
    4.5 两种实验方法得到的 Si_3N_4纳米线力学性能对比、分析第61-62页
    4.6 本章小结第62-64页
第五章 结论与展望第64-68页
    5.1 工作总结及创新点第64-65页
    5.2 展望第65-68页
参考文献第68-76页
致谢第76-78页
攻读硕士期间所发表的学术论文第78页

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